판매용 중고 AIRCO TEMESCAL VES 2550 #166774

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ID: 166774
Electron Beam Evaporation System 25.5-inch diameter x 12-inch high stainless steel, water-cooled deposition chamber designed for waist high substrate loading and unloading 25.5-inch diameter x 20 inch high stainless steel, evaporation source chamber with model VV-400 View Vac view port with Teflon film CTI 400 On-Board cryogenic pump CTI 9600 Helium compressor Mechanical vacuum pump Auto / manual vacuum valve sequence controller Ionization gauge and thermocouple gauge controller Inficon IC6000 Auto/Manual Deposition rate / process controller CV-14, 14kW electron beam power supply with X-Y beam sweep controller Temescal Four (4) pocket electron beam gun with crucible indexer Source shutter assembly fully integrated with deposition controller Substrate tooling for Lift-off deposition process System manuals Optional: Neslab HX350 air cooled water chiller / recurculator 1991 vintage.
AIRCO TEMESCAL VES 2550은 최적의 필름 증착을 위해 설계된 전용 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 2 개의 마그네트론 음극 (magnetron cathode) 과 2 개의 알루미늄 디스크 표적 (aluminum disc target) 이 있으며, 서로 독립적으로 실행할 수 있으며 증발 및 스퍼터 된 재료의 동시 증착이 가능합니다. 이 장치에는 마그네트론 음극 (magnetron cathode) 의 전원 출력을 제어하는 가변 주파수 (Variable Frequency) 전원 공급 장치와 디스크 대상의 3 상 가변 (Phase Variable) 전원 공급 장치가 있습니다. 또한, TEMESCAL에는 다양한 반응 가스와 비 반응성 가스의 흐름 속도 (flow rate) 와 혼합을 정확하게 제어 할 수있는 가스 패널이 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 독특한 노즐 디자인으로 매우 정밀한 턴테이블을 갖추고 있습니다. 이 디자인은 기판 전체에 균일 한 증착을 허용합니다. 이 도구에는 기판에서 플럭스 (flux) 와 에너지 (energy) 를 제어 할 수있는 높은 안정성 이온 소스가 장착되어 있습니다. 기판 을 쉽게 접근 할 수 있도록 높이 를 조정 할 수 있는 "구동 '식" 셔틀 암' 뿐 아니라 "커어튼 '식" 셔틀 암' 이 있다. AIRCO TEMESCAL VES-2550은 또한 높은 기술을 가지고 있으며, 목표 온도, 기판 온도, 이온 플럭스, 전원 출력 및 증착율을 정확하게 제어 할 수있는 컨트롤 패널을 사용하기 쉽습니다. 또한 다양한 카메라, 이미징 시스템 (Imaging System) 과 호환되며, 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 분석 할 수 있습니다. 또한, TEMESCAL은 전력 소비량이 적고 배출량이 최소화되어 효율적이도록 설계되었습니다. 결론적으로, VES 2550은 최적의 필름 증착을위한 훌륭한 전용 스퍼터링 자산입니다. 전력과 배출을 최소한으로 유지하면서 증착과정을 정확하게 조절하고 분석할 수 있는 아트급 (State of the Art) 기능을 갖추고 있다. 이것은 박막 (thin film) 의 증착이 필요한 모든 응용 프로그램에 대해 완벽한 선택입니다.
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