판매용 중고 VARIAN 3290 #186031

ID: 186031
웨이퍼 크기: 6"
Wafer handler kit, 6".
바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 전자 및 광학 응용을위한 기판의 정밀 금속화를 위해 설계된 다목적 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 강한 자기장 을 사용 하여 "이온 '을 가속 시킨 다음, 표적 물질 - 보통 은 이나 금 과 같은 금속 - 을 폭격 하여 표면 원자 들 을 해방 시킨 다음, 기질 표면 으로 응축 시킨다. 그런 다음 원하는 필름 두께에 도달할 때까지 이 프로세스를 반복합니다. 3290 시스템은 고급이며 다양한 기능과 속성을 제공합니다. 고도의 스퍼터링 균일성 (Sputering Unifority) 과 재현성 (Reprodibility) 을 통해 빠르고 쉽게 설정할 수있는 견고한 디자인이 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 박막 증착, 유전체 코팅, 장벽 코팅 (barrier coating) 등 다양한 응용프로그램을 수행할 수 있는 다양한 구성이 가능하며, 복잡한 패턴 및 최대 200nm의 균일 한 필름 두께로 고품질 레이어 (layer) 를 생산할 수 있습니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 의 효율적인 자동 튜닝 주파수 검출 (auto-tuning frequency detection) 은 수동 조정이 필요 없으며 기판 표면에서 균일성이 향상됩니다. 멀티 타겟 빌드 인 스퍼터링 기술 (multi-target build-in sputtering technology) 은 넓은 영역으로 인해 기판 전체에 걸쳐 뛰어난 필름 균일성을 제공합니다. 3290 은 사용자의 경험과 성능을 향상시키는 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이 "센서 '에는 장치 가 사용 중인 재료 에 맞는 원하는" 설정' 에 맞도록 하는 기판 재료 를 자동 으로 탐지 하는 "센서 '가 들어 있다. 적응 제어는 프로세스 시간을 크게 줄이고 기계의 전체 수율을 증가시킵니다. VARIAN 3290의 옵션 로터리 샘플 홀더 (rotary sample holder) 는 다중 기판을 동시에 증착하여 생산성을 더욱 높입니다. 3290 은 프로세스 정보에 대한 시각적 피드백을 제공하는 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공되며, 다음 단계를 손쉽게 수행할 수 있어 프로세스 제어 및 데이터 아카이빙을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 도구에는 레시피 에셋 (recipe asset) 이 장착되어 있어 사용자가 반복 가능한 프로세스에 대한 매개변수를 저장할 수 있으며, 유연성과 신뢰성을 더욱 높일 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3290 (VarIAN 3290) 은 다양한 맞춤형 옵션을 제공하는 고급형 스퍼터링 모델로, 사용자가 탁월한 성능, 반복, 정확도로 고품질의 필름을 제작할 수 있습니다. 고효율 스퍼터링 기술은 처리량, 생산성, 수율을 증가시켜 현대의 많은 코팅 (coating) 요구 사항에 이상적인 선택입니다.
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