판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP CMP #166127
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판매
ID: 166127
Lot of spare parts:
(Qty 1) CYLINDER ASSEMBLY EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE PTFE FLOW 24V EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) PRESSURE SWITCH XDCR, E/P, 0-100PSIA EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) XDCR, E-P, FAIRCHILD EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR PROXIMITY IND, 3mm, NPN EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) PS, 15VDC, 3.0AMP, HCCI EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) AMPLIFIER SVOBRSHL B3OA8 PART No:104601 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 40DP, 190 TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 40DP, 180-TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 37) PIN CONNECTOR SOCKET M39029/32-26 EURIS STRASBAUGH
(Qty 46) PIN CONNECTOR M39029/31-241 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID 24VDC EURIS STRASBAUGH
(Qty 4) BELT MXL5/16WD, 290 TOOTH EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR PROXIMITY 236323 CAP, NDN, 10-30V EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) SENSOR VAC SMC ZSE5B EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) BELT 90xL037 EURIS STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 6.75ID x .210 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID VAC 3WAY NC EURIS STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 2.875ID x 0.154 C/S,S EURIS STRASBAUGH
(Qty 10) O'RING SILICON WHITE 2.0ID (50.8mm) x 0.154 (3.91mm) C/CS,S 30
SHORE STRASBAUGH
(Qty 5) O'RING SILICON 3.375ID x 0210 C/S,S EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY 225241 JOSLYN SUNBANK KIT # SA619-11 EURIS STRASBAUGH
(Qty 2) CABLE ASSEMBLY MOTOR/ENCODER CS-ELEC EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) VALVE SOLENOID VAC 3WAY N.O EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY JOSLYN-SUNBANK KIT # SA619-10 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) CONN/ASSY JOSLYN-SUNBANK KIT # SA619-9 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) MTR/ENCODER PART No: 225230 ASSEMBLY BEI/E25 EURIS STRASBAUGH
(Qty 1) REGULATOR MODIFIED Z-158 95-16253 EURIS STRASBAUGH.
STRASBAUGH 6DS-SP CMP 장비는 반도체 웨이퍼에 고성능 표면 컨디셔닝을 제공하기 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 장치는 확장 다이아몬드 (extended diamond) 표면을 사용하여 반도체 웨이퍼에서 다양한 표면 구조를 완성하는 자동화된 3 축 제어 기계입니다. 6DS-SP CMP 시스템은 6 ", 8", 10 ", 12" 및 비표준 (고객별) 직경 웨이퍼를 연삭 및 랩핑 할 수 있습니다. 웨이퍼의 표면 마감은 미세 곡물 마감에서 50nm (나노 미터) 의 고도로 연마 된 표면까지 다양합니다. 또한, 6DS-SP 도구를 사용하여 오목한 곡률 (curvature) 과 타이트한 프로파일 제어 (tight profile control) 를 가진 거울 같은 랩핑 서피스를 생성하여 원하는 구조 형상을 달성할 수 있습니다. 이 자산은 다이아몬드 그라인딩 휠 (diamond grinding wheel) 과 슬러리 (slurry) 마모제를 사용하여 반도체 웨이퍼를 극도의 정확성과 정확도로 효율적으로 갈고, 랩하고, 닦습니다. 연삭 "휠 '은 고속 과 정확도 로 움직 이는" 로봇' 암 에 장착 되며, "슬러리 '는 윤활제 로 사용 되어" 웨이퍼' 표면 이 평평 하고 매끄럽게 되어 있다. 피에 조 (piezo) 구동 액츄에이터는 수직과 각도 움직임을 변형시켜 웨이퍼를 그대로 유지하고 전체 웨이퍼에서 균일 한 평평한 표면 마무리를 제공합니다. STRASBAUGH 6DS-SP CMP 모델에는 여러 패턴, 다중 축 스캔 제어 드라이버 (multi-pattern, multi-axis scan control driver) 가 장착되어 있어 연삭 과정에서 웨이퍼의 모든 부분이 균등하게 접지, 랩 및 광택이 있는지 확인합니다. 이 컨트롤은 또한 각 웨이퍼 (wafer) 에 달성되는 표면 프로파일 (surface profile) 측면에서 높은 정확성과 반복성을 허용합니다. 마지막으로 6DS-SP CMP 장비는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 통해 디바이스를 시스템에 통합하고 시스템의 여러 부분의 상태와 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 고급 (advanced) 기능은 시스템이 더 매끄럽고 안전하게 실행되고, 다운타임을 최소화하고, 장치의 성능을 최적화하는 데 도움이 됩니다. 요약하자면, STRASBAUGH 6DS-SP CMP 머신은 고성능 자동 머신으로, 매우 정확하고 정밀하게 웨이퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 성능/안전 (Performance and Safety) 기능을 제공하여 공정의 고품질 및 효율성을 유지합니다.
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