판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 / 2138 #129087

KLA/TENCOR 2135/2138은 집적 회로 (IC) 의 결함을 식별하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 옵티컬 시스템 (Optical System) 및 이미지 처리 기능을 통해 고해상도로 웨이퍼와 마스크를 검사할 수 있습니다. 매우 민감한 CCD 카메라는 패턴 요소를 탐지, 측정하여 결함을 빠르고 정확하게 발견할 수 있습니다. KLA 2135/2138은 모서리 피쳐, 선폭, 게이트/접촉 패턴, 피쳐 내부 및 간격, 노치 및 기타 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 알파 피치, 레이어 정렬, 오버레이 양, 치수 공차 (dimensional tolerance) 를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 맞춤식 자동화를 위해 API (applications programming interfaces) 를 사용하여 빠르고 완전히 결함을 특성화하는 기능을 가지고 있습니다. TENCOR 2135/2138에는 고급 7 축 스테이지가있는 완전 통합 도량형 도구 (metrology tool) 가 있으며, 이를 통해 에셋은 가변 속도 동작으로 샘플의 영역에 액세스 할 수 있습니다. 2135/2138의 기능에는 빠른 검사, 높은 정확도, 높은 감도 및 높은 신뢰성이 포함됩니다. 또한, 자동화된 이미지 획득/분석, 결함 검토/분류 등을 수행할 수 있습니다. 장비의 소프트웨어는 단일 레이어, 플랫 베드, 다중 레이어 및 OCR (Optical Character Recognition) 지원을 포함한 여러 운영 모드를 지원합니다. 또한, 향상된 애플리케이션 및 에지 옵션, 도량형/오버레이 기능, 고급 결함 분류/복잡성 분석, 인터페이스 패키지 (옵션) 등 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 2135/2138은 IC의 결함을 식별하기 위해 설계된 포괄적 인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 고해상도 이미징 머신 (High Resolution Imaging Machine) 을 통해 높은 정확도와 감도로 고급 및 가변 속도 동작을 제공합니다. 또한 다양한 소프트웨어 (software) 기능이 제공되므로 사용자는 특정 애플리케이션을 위해 도구를 사용자 정의할 수 있습니다.