판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Titan I #185104

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ID: 185104
Carriers Part Numbers: 72B 73B 51A 53B 66B.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Titan I은 고급 반도체 응용 분야를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 (WGLP) 장비입니다. 이 시스템에는 고정밀 웨이퍼 처리 스테이션, 향상된 웨이퍼 지원 장치, 고급 그라인딩 및 랩핑 기술, 완전 자동화 된 중앙 오일 냉각 장치 (Central Oil Cooling Machine) 가 있습니다. 또한이 도구는 매우 정밀한 밀링 형 스핀들을 사용하여 정확한 연마 결과를 제공합니다. 고정밀 웨이퍼 처리 스테이션에는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 효율적으로 처리하는 견고하고 인체 공학적 (ergonomic) 로드 언로드 섹션이 있습니다. 또한 고급 웨이퍼 컨트롤러와 바코드 리더기를 통해 원활하게 작동할 수 있습니다. 개선 된 웨이퍼 지원 자산은 내부 고해상도 정밀 보유자 (high-resolution precision holder) 를 사용하여 각 웨이퍼가 전체 웨이퍼 그라인딩-랩핑-광택 영역 전체에 안전하고 균등하게 분산되도록 합니다. 고급 그라인딩 랩핑 기술을 통해 AMAT Mirra Titan I은 고정밀 프로세스 결과를 달성 할 수 있습니다. 이 모델의 밀 타입 스핀들 (spindle) 은 고급 반도체 프로세싱에 사용하기 위해 특별히 설계되었으며, 정확한 그라인드 및 데버 결과를 제공합니다. 이 장비는 또한 자동화된 중앙 오일 냉각 시스템 (Central Oil cooling System) 을 통합하여 공정 중에 일정하고 냉각 온도를 제공하여 반복 성을 향상시킵니다. 완전 자동화 장치는 구성 및 작동이 쉽습니다. 사용자는 사용자에게 친숙한 InTouch 터치 스크린 디스플레이에서 프로세스 매개 변수를 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 자동 조정 (Auto-calibration) 및 자동 조정 (Auto-tune) 기술과 같은 여러 가지 고급 기술을 사용하여 빠른 로드 언로드 및 프로세스 정확도를 높입니다. 또한, 이 도구는 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch), 근접 센서, Fail-Safe 제어 (Fail-Safe Control) 등의 다양한 안전 기능을 제공하여 자산 또는 프로세스 장애 시 프로세스를 중지하거나 반전시킵니다. APPLIED MATERIALS Mirra Titan I은 또한 갑작스런 정전 또는 변동으로부터 장비를 보호하도록 설계된 과부하 보호 모델을 갖추고 있습니다. 전반적으로 Mirra Titan I은 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고급적이고 정밀한 시스템입니다. 이 장치는 다양한 기능과 기술을 제공하며, 사용하기 쉽고 구성이 용이하며, 반도체 (semiconductor) 제작 프로세스에 매우 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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