판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9208507

ID: 9208507
MCA E-Chuck heaters.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254는 상업용 등급, 수직 분할 블록, 가스 반응기 유형 장비입니다. 이 원자로는 반도체 처리, 증착 및 에칭 작업에 적합한 상업용 등급 장비로 설계되었습니다. 그것 은 매우 다양 한 장비 이며, 다양 한 "응용프로그램 '에 사용 될 수 있다. 이 원자로는 이중 웨이퍼 처리 및 가변 전원 공급 장치를 수용하기 위해 스테인레스 스틸 스플릿 블록 (stainless steel split-block) 어셈블리를 갖추고 있습니다. 반응 챔버 전체에서 지속적인 온도 및 압력 조절을 위해 설계되었습니다. 수직 반응 챔버가 있으므로 쉽게 접근 및 유지 관리할 수 있습니다. 원자로는 증착 공정의 경우 최대 450 ° C, 에칭 작업의 경우 최대 800 ° C 온도에서 작동 할 수 있습니다. 또한 압력을 30에서 1000Torr로 조정할 수 있습니다. 원자로는 또한 난방 (heated chamber) 으로 웨이퍼의 뒷면 이동을위한 발진기 (oscillator) 와 난방 프로파일 설계를위한 별도의 열 제어 장치 (thermal control unit) 를 갖추고 있습니다. AMAT 0010-03254의 또 다른 기능은 통합 프로세스 자동화 모듈입니다. 이 모듈은 압력, 온도, 흐름 등의 기본 시스템 매개변수를 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 원자로에는 자동 누출 감지 (automatic leak detection) 를 갖춘 통합 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 가 포함되어 있어 효율적이고 강력한 작동이 가능합니다. 이 시스템에는 통합 스위처블 (switchable) 전원 관리 모듈과 내장형 타이머가 장착된 디지털 디스플레이 장치도 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-03254 는 검증된 신뢰성 있는 성능과 낮은 유지 관리 비용으로 반도체 프로세싱을 위한 탁월한 선택입니다. 원자로 는 여러 가지 재료 를 처리 하는 능력 을 가지고 있는데, 그 재료 는 다양 한 용도 에 적응 하고 다재다능 하게 만든다. "깨어라!" 또한, 이 제품은 간편한 액세스 반응 챔버 (access reaction chamber) 와 조정 가능한 매개변수 및 기능을 갖춘 사용자 친화적입니다. 이 원자로는 모든 반도체 프로세스에 적합한 옵션입니다.
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