판매용 중고 PHILIPS / FEI Nova NanoLab 600 #9261304

PHILIPS/FEI Nova Nano Lab 600은 다양한 nanofabrication 응용 프로그램을 위해 설계된 듀얼 빔, 이온 밀링 장비입니다. 그것 은 고급 광학 "디자인 '을 가지고 있어서 3 차원 으로 강렬 한" 이온' 광선 을 정확 하게 전달 할 수 있다. 시스템은 통합 정전기 빔 디플렉션 장치 (electrostatic beam-deflection unit) 를 사용하여 샘플 서피스의 원하는 대상에 빔을 정확하게 배치합니다. "나노랩 '600 이 사용 하는" 이온' 광선 은 "이온 '원 에 의해 생성 되는데, 이것 은 금속 이나" 가스' "이온 '원 으로 구성 될 수 있다. 금속 이온 소스는 DC 아크를 사용하여 텅스텐 (tungsten) 이나 금 (gold) 과 같은 저에너지 금속 이온 빔을 생성하며, 이는 높은 종횡비 에칭 또는 나노 밀링에 사용될 수 있습니다. "가스 '의" 이온' 원 은 RF "플라즈마 '를 이용 하여 고도 의 정밀 패턴' 이나" 나노 '임프레션' 에 사용 할 수 있는 "가스 '" 이온 빔' 을 생성 한다. Nano Lab 600에는 에칭 전후 샘플의 반도체 특성화가 가능하도록 강력한 분석 머신이 내장되어 있습니다. 이 도구는 통합 스캐닝 전자 현미경 (SEM), 전자 백스캐터 회절 (EBSD), 에너지 분산 X- 선 (EDX) 분광법 및 전송 전자 현미경 (TEM) 을 사용하여 에칭 과정을 보다 정확하게 특성화하고 제어합니다. 통합 SEM (Integrated SEM) 은 에칭 중 샘플의 현장 관찰에도 사용될 수 있습니다. Nano Lab 600 은 직관적인 제어 인터페이스 (control interface) 를 통해 자산을 쉽게 설정하고 작동할 수 있습니다. 사용자는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 다양한 nanofabrication 작업 (예: 에칭 및 밀링) 을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 모델은 에칭 프로세스에 대한 실시간 분석 (real-time analysis) 과 추가 분석을 위한 후처리 도구 모음도 제공합니다. Nano Lab 600은 우수한 이온 밀링 및 nanofabrication 기능을 제공하는 강력한 장비입니다. 반도체 장치 제작, 나노 기술 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 통합 분석 시스템, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 다양한 기능을 통해 nanofabrication 애플리케이션을 위한 이상적인 단위가 됩니다.