판매용 중고 HITACHI S-9200SA #165834

HITACHI S-9200SA
ID: 165834
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2000
CD SEM system, 8" Workstation: Model : B2600 O/S :HPUX Software Version : 18.35ev15 IP Read : 5.4~16.1pA(Low mode) CD measurement principle: Cursor and line profile measurement CD measurement range: 0.1 to 2.0 um Secondary electron image resolution: 3nm Image magnification: SEM image; 500 x 300,000 Optical microscope image; about x110 Specimen stage: Movement range X and Y: 0-200mm Stage drive: Pulse motor Control and speed: max. speed 100mm/s Wafer loader: Wafer transfer from cassette to loader chamber: Auto transfer via wafer transfer robot Wafer transfer from loader chamber to stage: Auto evacuation and auto loading Wafer transfer robot system: random access using (2) cassettes Wafer detection in cassette: Auto detection via wafer searcher Chucking method: Vacuum chucking on back of wafer Orientation flat/ V notch detection: non-contact auto detection via optical sensor Electron Optics: Schottky emission type Accelerating voltage: 500 to 1600V Lens system: Electromagnetic condenser lens system, booster objective lens Secondary electron detection: Scintillator/ photomultiplier detection system Objective lens aperture: Heating type movable aperture Scanning coil: 2-stage electromagnetic type (X, Y axes) Probe current monitoring: Faraday cup incorporated, with automatic measurement function Optical microscope: 1.2 mm square visual field, monochrome image Control and display system: Viewing control CRT: 21 type monitor Scanning modes: TV scan, HR scan, SLOW scan Image processing: Software processing using filtering Saftey device: Equipped with emergency off switch CD measurement data processing system: File storage Storage media: Hard disk (2GB), 3.5 type magneto-optic disk, 3.5 floppy disk Data processing function: statistics scanning using worksheet system Printout: 80-character thermal printer Evacuation system: Evacuation principle: Full automatic dry & clean evacuation Vacuum pumps: (3) Ion pump, (2) turbo molecular pump, (2) oil rotary pump Safety devices N2 Gas source (for leak): Gas pressure: 200 to 660 kPa Outside Diameter of connecting tube: 6um Compressed air source (for valve drive) Air pressure: 600 to 880 kPa Outside diameter of connecting tube: 6mm Vacuum source (for auto loader) Vacuum pressure: P= 1.3 to 21.3 kPa Outside diameter of connecting tube: 6mm. VIPS and Cognex are missing Currently warehoused 2000 vintage.
HITACHI S-9200SA 스캐닝 전자 현미경은 고급 과학 및 산업 요구 사항을 충족하는 고성능 도구입니다. 고급 스캐닝 및 감지 기술로 탁월한 이미지 해상도, 유연성, 사용 편의성을 제공합니다. 대용량 챔버 (Chamber) 및 고해상도 진동 방지 (Anti-Revolution) 시스템은 매우 안정적인 환경과 뛰어난 이미지 선명도를 제공하는 반면, 광범위한 자동 작동은 효율적이고 사용자 친화적인 운영을 보장합니다. S-9200SA는 고속 초고해상도 PCO (Proper Combined Optics) 및 스캐닝 프로브 시스템 (Scanning Probe System) 을 갖추고 있으며, 다양한 샘플 크기와 모양을 수용하기 위해 쉽게 변경하고 최대 160mm까지 긴 작업 거리를 제공합니다. 이 기능은 비표준 샘플에 이상적입니다. PCO는 다중 기울기 (multi-tilt) 및 회전 (rotational) 샘플 준비와 함께 최적의 이미지 선명도를 제공합니다. 스캐닝 시스템은 뛰어난 이미징 해상도를 제공하며 초고진공 (UHV) 열 (UHV) 과 샘플 회전 단계 (sample rotation stage) 의 통합과 대조를 이룹니다. 또한 자동 샘플 스테이지 이동과 세부 분석을위한 6 축 샘플 조작기가 있습니다. 샘플 스테이지의 높은 선형 정확도 (high linear accuracy) 는 중간 크기 및 작은 샘플 부품을 정확하게 측정하는 데에도 유리합니다. 현미경에는 2 차 전자 및 역 산란 전자 검출기에서 EDX 원소 분석 (EDX), X- 선 미세 분석 (XRM) 및 cathodoluminescence에 이르기까지 다양한 검출기와 신호 프로세서가 장착되어 있습니다. 또한 3D 깊이 분석, 자동 픽셀 상관 관계 기술 및 라인 스캔 모드, Z 슬라이싱 등의 다양한 통합 기능을 갖춘 고급 디지털 이미징 (Advanced Digital Imaging) 을 제공합니다. 즉, 안정적인 데이터 수집 및 분석 기능을 통해 간편하게 결과를 액세스할 수 있습니다. HITACHI S-9200SA는 뛰어난 화질, 저소음 배경, 높은 신호 대 소음비를 제공합니다. 이를 통해 현미경은 나노 구성, 반도체 산업, 전자 공학, 재료 과학, 나노 기술 등 생명 과학 및 산업 응용 분야를 요구하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로, S-9200SA는 고급 스캐닝 전자 현미경으로, 뛰어난 이미지 해상도와 정교한 샘플에 대한 다양한 옵션을 결합하여 복잡한 분석 및 연구를 가능하게합니다. 다양한 자동 작업, 정교한 검출기 (detector) 및 프로세서 (processor) 및 3D 깊이 분석 기능을 통해 산업 및 학술 연구 프로젝트에 이상적인 툴이 될 수 있습니다.
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