판매용 중고 STANFORD RESEARCH SYSTEMS / SRS RGA 100 #9185681

STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA 100은 반도체 및 진공 처리 시설의 고해상도 분석을 위해 개발 된 고급 잔류 가스 분석기입니다. 이 장치는 질량 분석기 (Mass Spectrometer) 와 터보 펌핑 된 잔여 가스 분석기 (Turbo-pumped Residual Gas Analyzer) 를 결합하여 총 압력과 부분 압력을 모두 측정 할 수 있습니다. 분석기는 가열 메커니즘을 통해 산소, 이산화탄소, 저분자량 탄화수소, 물과 같은 휘발성 성분을 측정 할 수 있습니다. 또한, SRS RGA 100에는 미량 가스의 고해상도 측정을 제공 할 수있는 내장 비행 시간 (time-of-flight) 질량 분석기가 포함되어 있습니다. 분석기의 온도 범위는 -25 ~ + 200도이며 압력 범위는 10 ~ 7 ~ 0.1 torr입니다. STANFORD RESEARCH SYSTEMS RGA100은 전자 승수 검출기 및 이온 모드 선택기와 결합 된 4 x 450mm 중간 영역 드리프트 튜브 및 이온 소스를 사용합니다. 중간 영역 드리프트 튜브 (mid-region drift tube) 는 높은 정확도, 반복 가능한 결과를 얻기 위해 전반적인 목적으로 낮은 수준의 잔류 가스를 측정하도록 최적화되었습니다. 또한, SRS RGA100에는 두 개의 플로우 컨트롤러 (flow controller) 가 제공되며, 이를 통해 사용자가 샘플 가스의 압력과 유량을 설정할 수 있습니다. 플로우 컨트롤러 (Flow Controller) 에는 수동 밸브 (Manual Valve) 가 포함되어 있어 사용자가 샘플 가스 압력 요구를 더욱 정확하게 제어 할 수 있습니다. RGA 100에는 진공 시스템 (vacuum system) 을 통해 장치의 원격 작동을 허용하는 내장 진공 인터페이스도 있습니다. 또한 디바이스에는 절전 기능이 있습니다. Analyzer 를 사용하지 않으면 사용자가 데이터를 다시 요청할 때까지 전력 소비량 (Power Consumption) 이 자동으로 낮은 수준으로 떨어집니다. 또한, RGA100에는 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하는 온보드 PC (On-Board PC) 가 장착되어 있으며 간단한 그래프에서 상세한 표 (Tabular) 정보까지 다양한 형식으로 데이터를 표시합니다. 스탠포드 리서치 시스템 (STANFORD RESEARCH SYSTEMS) RGA 100은 고급 분석기 (Advanced Analyzer) 이기 때문에 최상의 결과를 위해 자동 튜닝 업을 포함하고 가스를 적절히 측정합니다. 성능을 최적화하기 위해 STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA100은 초기 배경이 낮고, 샘플링 압력이 낮으며, 감도가 높습니다. 또한, Analyzer는 신호 안정성을 개선하기위한 디지털 잠금 증폭기 (digital lock-in amplifier) 와 전자 전하를 측정 할 수있는 '패러데이 컵 (faraday cup)' 을 포함합니다. 전체적으로 STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA 100은 반도체 및 진공 처리 시설의 고해상도 분석을 위해 설계된 고급 잔류 가스 분석기입니다. 이 장치는 질량 분석법 (Mass Spectrometry) 과 터보 펌핑 된 잔여 가스 분석기 (Turbo-pumped residual gas analyzer) 의 측면을 결합하여 다양한 온도와 압력으로 정확하고 반복 가능한 결과를 생성합니다. 또한 SRS RGA 100에는 비행 시간 (time-of-flight) 대량 분석, 흐름 컨트롤러 및 최적의 성능을 보장하는 절전 모드와 같은 내장 기능이 포함되어 있습니다.