판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9025887

ULVAC Ceraus ZX-1000은 거의 모든 기판에서 정확하고 반복 가능한 얇은 층의 재료를 생산할 수있는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 4 개의 소스 (DC 마그네트론 3 개 및 RF 바이어스 1 개) 를 갖추고 있으며 광범위한 박막 재료 특성을 만들고 넓은 지역에 비해 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이것은 탄도 연구, 화합물 반도체 증착 및 박막 광학 코팅에 특히 유용합니다. ULVAC CERAUS ZX 1000에는 스퍼터링 성능 및 재생성을 극대화하기 위해 제어 된 환경을 유지하도록 설계된 완전 밀폐 챔버 (fully closed chamber) 가 있습니다. 주요 구성 요소에는 4 개의 구성 가능한 이온 소스, 2 개의 마그네트론 세트, RF 발진기 및 다양한 화학 조성의 대상을 스퍼터팅 할 수있는 기능이 포함됩니다. 또한 기판 온도, 압력, 전압, 공기 흐름 및 기판 동작을 제어하는 자동 소프트웨어 인터페이스 (automated software interface) 와 같은 다른 기능도 제공합니다. 또한 Qtron-X와 같은 다양한 가스 제어 시스템 및 고성능 제어 시스템을 사용하도록 조정할 수 있습니다. 세라우스 ZX-1000 (Ceraus ZX-1000) 의 전원 공급 장치는 신뢰성이 높아 뛰어난 재료 특성과 얇은 층 증착을 달성 할 수 있습니다. 고급 디스플레이를 사용하면 스퍼터링 프로세스를 훨씬 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 뛰어난 스퍼터링 (sputtering) 수율과 다양한 운영 매개변수 (operating parameters) 를 제공하여 원하는 얇은 레이어 특성을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 결정 (crystal) 과 박막 (thin film) 에서 중합체 (polymer) 와 금속 (metal) 에 이르기까지 다양한 기판으로 작동하도록 설계되었습니다. CERAUS ZX 1000에는 고급 로터리 마그네트론 (Rotary Magnetron) 이 있으며, 이는 기존의 마그네트론 스퍼터링 시스템보다 훨씬 더 높은 스퍼터링 수율과 균일성을 제공합니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 진공 "펌프 '도구 를 제공 하는데, 이것 은 정확 한 박막 증착 에 필요 한 압력 수준 을 낮추는 데 사용 할 수 있다. 이로써 증착 속도 (deposition speed) 와 균일성 (unifority) 을 보다 효과적으로 제어할 수 있으며 별도의 진공 자산이 필요하지 않습니다. 전반적으로 ULVAC Ceraus ZX-1000은 거의 모든 기판에서 반복 가능하고, 정확하며, 정확한 얇은 층을 생성 할 수있는 뛰어난 스퍼터링 모델입니다. 고급 디스플레이와 사용이 간편한 소프트웨어 인터페이스를 통해 모든 스퍼터링 (Sputtering) 애플리케이션에 사용하기 쉬운 툴이 됩니다. 높은 수율, 빠른 스퍼터링 성능, 다양한 기판 (기판) 으로 작업하는 능력은 다양한 박막 (박막) 제품군과 연구 응용프로그램에 이상적인 선택입니다.