판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9054881

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor는 플라즈마 에칭, 스퍼터링 및 증착과 같은 복잡한 공정을 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 다양한 기능과 기능 (feature and features) 을 제공하며, 사용자가 작은 크기의 복잡한 구조와 피쳐를 생성할 수 있고, 매우 정확하고 제어할 수 있는 다양한 실험을 수행할 수 있습니다. AMAT P-5000 Reactor는 병렬 판 시스템 (parallel-plate system) 을 기반으로하며, 동일한 챔버 내에서 크기가 다른 영역을 처리하여 비 균일성을 제거합니다. 원자로의 구성은 전체 표면에서 최적의 에치 레이트 (etch rate) 와 균일성을 보장합니다. 최대 300 mm 크기의 샘플을 처리 할 수 있으며, 사용자의 요구에 따라 치수 (dimensions) 를 사용자정의할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로에는 고 전원이 장착되어 다중 계층 재료의 에칭 및 증착이 가능합니다. 소스는 최대 5000 와트의 전력을 공급할 수 있으며, 처리량이 많은 프로세스를 지원합니다. 원자로 자체의 디자인은 매우 좋은 온도 균일성 (temperity uniformity) 과 공간 균일성 (spatial unifority) 을 제공하여 증착 과정에 이상적입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor에는 다양한 감지, 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 연산자는 압력, 온도, VDF 분포, ICP 기체의 농도 (concentration of ICP gas) 와 같은 다른 매개변수를 모니터링하여 프로세스를 실시간으로 제어 및 조정 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 Reactor는 광범위한 사용자 요구와 실험 요구사항을 충족시킬 수 있는, 매우 다재다능하고 포괄적인 원자로입니다. 높은 정밀도 (High Precision) 와 성능 (Performance) 을 통해 실험에 대한 최대의 제어 능력과 높은 처리량 어플리케이션에 적합한 기능을 원하는 사용자에게 적합합니다.