판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293621605

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ID: 293621605
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
CVD System, 6" Process gas: Nitride (2) Cambers 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 처리에 사용되는 생산 등급 멀티 챔버 원자로입니다. 원자로는 모듈식 설계를 사용하며, 뛰어난 가동 시간, 가용성 및 반복성을 제공합니다. AMAT P-5000 원자로는 입자 오염을 최소화하는 효율적인 챔버 (chamber) 설계를 특징으로하여 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 원자로에는 중력 보조 웨이퍼 전송 장비가 있으며, 우수한 가스 흐름 최적화 및 챔버 균일성 (chamber unifority) 을 제공합니다. 원자로에는 센서, 컨트롤러, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 통합된 고급 공정 제어 시스템이 있습니다. 이 장치는 어닐링, 증착, 에칭, 건조기 스트리핑 등 다양한 프로세스를 지원하도록 구성 될 수 있습니다. 프로세스 제어 머신 (process control machine) 은 정밀한 균일성과 반복성을 보장하며, 프로세스를 조정하거나 재설정해야 하는 횟수를 줄입니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 광범위한 온도와 압력에 균일하고 반복 가능한 결과를 생성하는 견고한 구조로 제작되었습니다. 원자로에는 열, 광학 및 전기 제어를 위한 멀티 존 (multi-zone) 기능도 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 다양한 온도 범위에서 더 정확한 프로세스 튜닝 및 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 원자로의 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 다양한 프로세스를 구성하고 단일 도구로 통합 할 수 있습니다. P-5000은 많은 프로세스 장벽에 사용될 수있는 업계 표준 생산 등급 도구입니다. 또한, 자산은 신뢰성이 높으며, 향상된 반복성과 균일성을 지원하여 프로세스 변동 감소, 다운타임 감소, 수율 향상 등의 효과를 제공합니다.
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