판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #293665721

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821은 스퍼터링 및 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 6 인치 직경의 챔버와 3 상 입력으로 구동되는 28kW 변압기가 장착 된 수직 장비입니다. AMAT AMC 7821은 온보드 터보 펌프 (turbo-pump) 및 효율적인 펌핑 시스템을 통해 사용자가 설정 한 처리 압력을 신속하게 달성합니다. 또한 작동 중 챔버의 압력을 모니터링하는 쿼츠 크리스탈 압력 센서 (quartz crystal pressure sensor) 가 특징입니다. 이렇게 하면 원하는 프로세스 조건이 일관되게 달성됩니다. 원자로에는 원통형 상부 기둥, 원통형 하부 기둥 및 폴리에틸렌 필름 창이 추가로 포함되어 있습니다. 또한, 목표 기판의 양쪽에서 스퍼터링 할 수있는 오픈 엔드 타겟이 있습니다. APPLIED MATERIALS AMC 7821 (응용 재료 AMC 7821) 은 급속 온도 상승 및 냉각 기능을 제공하여 최대 800 ° C의 온도에서 처리 할 수 있습니다. 온도를 모니터링하고, 온도가 원하는 수준으로 유지되도록 온도를 통합한 온도컨트롤러 (temperature controller) 가 있습니다. 원자로에는 2 개의 입구와 2 개의 콘센트가있는 컴퓨터 제어 가스 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 1 SCCM (분당 표준 입방 센티미터) 내에서 반응물의 흐름을 제어 할 수 있습니다. AMC 7821은 다양한 크기와 옵션으로 제공됩니다. 독립형 시스템 (Standalone Machine) 으로 사용하거나 기존 프로세스 라인에 통합할 수 있습니다. 원자로는 금속, 도자기, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 기질에 대해 사용자 정의 할 수도 있습니다. 도체, 반도체, 자기 재료, 유전체 재료, 질화물 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821은 박막 증착, 태양 광 기술, MEMS 및 나노 기술과 같은 도전적인 응용 프로그램에서 안정적이고 오래 지속되는 성능을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 신뢰성이 높고, 유지 관리가 용이하며, 작업을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있도록 전문적으로 설계되었습니다.