판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811은 규소 질화물, 폴리 실리콘, 실리콘 산화물 및 텅스텐과 같은 고순도 얇은 코팅 생산을 위해 설계된 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 원자로입니다. 원자로 챔버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 공정 응용에 따라 최대 1050 ° C까지 작동하도록 평가됩니다. 내부 부피는 1.2 ~ 7.6 입방 피트이며 AMAT AMC 7811은 최대 5 개의 100mm 기판, 4 개의 150mm 또는 2 개의 200mm 기판을 수용 할 수 있습니다. 원자로에는 강력한 웨이퍼 트랜스포트 (wafer transport) 가 장착되어 기판을 장비로 빠르고 정확하게 이동합니다. 수송기는 최대 10kHz의 주파수로 작동하여 빠른 반응 시간을 제공합니다. 웨이퍼 전송은 주파수 변조 RF 생성기와 함께 작동하여 기판 위치를 정확하게 지정하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS AMC-7811에는 온도, 챔버 압력, 흐름, 습도 등 중요한 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어할 수있는 최첨단 프로세스 제어 시스템이 있습니다. 또한, 이 장치는 가스 순도 및 웨이퍼 균일성에 대한 고급 진단 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 모든 기판에 대한 프로세스 반복성을 보장하여 코팅 두께와 구조가 균일 해집니다. AMC 7811 (AMC 7811) 은 효율적이고 고품질 생산 프로세스를 제공하여 제조업체의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 광범위한 온도 및 압력에 대한 균일성과 반복성을 제공하며, 균일성은 ± 1% 보다 좋습니다. 또한, 기계는 10nm 정도의 낮은 증착율과 초당 최대 40 개의 옹스트롬 (angstrom) 의 예금율을 생성 할 수 있습니다. AMAT AMC-7811 원자로는 연구 및 생산 요구 사항을위한 컴팩트하고 안정적인 도구를 제공합니다. 가상 레이어 생산에 이상적이며, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 손쉽게 유지 관리 및 서비스를 제공할 수 있습니다. 또한, 에셋은 사용자가 원하는 대로 추가 사용자 정의를 위해 AMAT 프로세스 모듈 제품군과 완벽하게 호환됩니다.