판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #293665720

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811은 기판의 에칭 및 증착을 위해 설계된 멀티 챔버 원자로입니다. 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD) 및 에칭 프로세스가 가능합니다. 최대 200 x 200mm 공정의 기능으로 큰 챔버 크기가 있습니다. 또한 원자로를 0.3mbar까지 처리 할 수있는 Sub Ambient 저압 에칭 모듈이 있습니다. 이를 통해 낮은 압력으로 에칭을 수행할 수 있으며, 이는 오염을 줄이고 프로세스 제어를 증가시킵니다. AMAT AMC 7811 또한 다양한 표준, 특수 액세서리 및 고정장치로 구성할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 보다 효율적이고 통제된 처리를 위해 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 작은 샘플에 대한 수동 웨이퍼 처리 (manual wafer handling) 및 더 큰 샘플에 대한 자동 로봇 웨이퍼 처리 시스템 (automated robotic wafer handling system) 이 포함됩니다. 또한 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 통해 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 절차의 진행 상황에 대한 빠르고 정확한 피드백을 제공합니다. APPLIED MATERIALS AMC-7811 에는 가스 라인에 빠르고 쉽게 연결할 수있는 유연한 가스 박스 (gas box) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 샘플이 필요한 모든 가스에 균등하게 노출되고, 오염을 줄이고, 프로세스 반복성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 원자로 는 또한 안전 대책 을 가지고 있는데, 이를테면 방압 을 과열 하거나 상실 하는 "오토 차단 '기능 이 있다. 이를 통해 샘플에 대한 오염이나 손상 (damage) 을 최소화하면서 프로세스를 안전하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7811은 다양하고 신뢰할 수있는 툴로, 사용자가 CVD, PVD 및 에칭 프로세스를 효과적으로 수행할 수 있습니다. 리서치 (Research) 와 프로덕션 (Production) 애플리케이션 모두에 적합한 툴로서, 각 사용자의 특정 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 견고한 설계와 기능으로 다용도, 신뢰성이 있으며, 안전 (Safety) 기능은 오염 또는 손상 위험을 최소화하여 작동 할 수 있도록 도와줍니다.