판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #293665719

AMAT APPLIED MATERIALS 7800 RPX는 반도체 소자 제조를 위해 특별히 설계된 차세대 8 인치 기판 처리 원자로입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX는 설치 공간 및 비용 절감, 마이크로제작 및 고급 패턴의 고성능 기능을 제공합니다. AMAT 7800 RPX는 저에너지 배치 및 동적 챔버 프로세스에 최적화된 내구성, 고성능 설계를 갖추고 있습니다. 강력한 구조는 반도체 프로세스가 반복 가능하고, 제어 가능하며, 높은 정확성을 보장합니다. 원자로의 효율성은 산업용 반도체 제조에 필요한 대용량 웨이퍼 (wafer) 생산을 손쉽게 처리할 수 있도록 보장한다. 조절 가능한 형광 광원이 장착 된 고급 광학 패키지 (Advanced Optics Package) 는 광석기 공정을 정확하고 반복적으로 제어 할 수 있습니다. 자동화된 로더 및 다중 로드 포트는 빠르고 정확한 기판 로딩 및 언로드를 보장합니다. 또한, 챔버는 안정적인 데가 및 웨이퍼 클램핑 기능으로 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 7800 RPX는 향상된 플라즈마 장비 성능을 제공하여 프로세스 변화를 제거하고 프로세스 반복성을 높입니다. 이중 주파수 스위칭 전원 공급 장치 (Dual Frequency Switching Power Sources) 는 플라즈마 시스템을 원하는 프로세스 매개변수에서 실행하도록 유지합니다. 수평 열 웨이퍼 (thermal wafer) 지원과 함께 정교한 온도 제어 장치는 온도 균일성과 더 빠른 냉각 속도를 제공합니다. 냉장 액체 냉각 열 교환기가 장착 된 자동 Fast Response Closed Loop Gas Outlet 머신은 가동 중지 시간이 적은 효과적인 가스 및 화학 제어를 보장합니다. 원자로에는 방사선 누출을 방지하기 위해 내부 RF- 쉴드 (RF-shield) 가 있으며, 챔버 상단에는 IMD 절연 패널이 포함되어 있어 공정 챔버 내에서 최대 열 효율성 및 최적의 열 발산을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX는 효과적인 가스 계량을 위해 호환 가능한 밸브, 튜브 및 미터가있는 가스 분배 박스와 함께 제공됩니다. 알람, 표시등, 온도, 압력 센서 등을 이용한 원자로 (reactor) 는 실시간으로 더 나은 프로세스 제어 및 모니터링을 가능하게 합니다. 또한 통합 웨이퍼 처리 도구가 있으며, 오염 위험이없는 반복 가능한 자동 기판 처리에 밀봉 된 대칭 레인 (Symmetric Lane) 기술을 사용합니다. AMAT 7800 RPX는 반도체 제조 작업에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 만능 원자로입니다. 최고의 정확성, 정확성, 반복성, 견고성을 제공하는 신뢰성이 뛰어난 자산입니다.