판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9202527

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STEAG / MATTSON / AST 2800
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ID: 9202527
RTP System.
STEAG/MATTSON/AST 2800 고속 열 프로세서는 복잡한 반도체 재료의 빠르고 정확한 열 어닐링을 용이하게하도록 설계된 정교한 반도체 장치 제작 도구입니다. 프로세서는 최신 초고속 난방 (Ultra Afast Heating) 및 냉각 (Cooling) 기술을 결합하여 높은 수준의 열 제어 및 대칭을 유지하면서 프로세스 시간을 줄입니다. 이 장치는 이중 구역 가스 분산 노즐 (dual-zone gas distersion nozzle) 을 특징으로하여 웨이퍼를 가로 질러 적절한 가스 혼합물 분배를 가능하게하여 최적의 열 어닐링을 제공합니다. 또한, 프로세서의 독특한 가열 서셉터 플레이트는 전체 웨이퍼 표면을 적절하고 일관되게 가열합니다. 이렇게 하면 프로세스 실행 간의 최적의 열 균일성과 반복성이 보장됩니다. 프로세서는 온보드 컴퓨터 시스템 (on-board computer system) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 매우 정확한 열 프로파일링을 수행할 수 있습니다. 고도로 정확한 열 플럭스 센서 (heat flux sensor) 와 고급 소프트웨어 제어 (advanced software control) 알고리즘을 활용하여 시간의 흐름에 따른 온도 변화를 매우 높은 정확도로 측정하고 기록함으로써 이를 달성합니다. 그런 다음, 이 데이터를 통해 열 어닐링 시간 (thermal annealing time) 과 온도를 정밀 제어할 수 있으며, 프로세스가 미리 결정된 프로파일 내에 유지되도록 피드백을 제공합니다. 또한, 프로세서에는 예기치 않은 과열 (over-heating) 상황이 발생할 경우 웨이퍼를 빠르게 냉각시킬 수있는 비상 열 거부 시스템 (emergency heat rejection system) 을 포함한 최신 안전 기술이 장착되어 있습니다. 또한, 프로세서는 최대 200mbar 압력 환경에서 작동하도록 평가되어, 섬세한 재료가 열적 어닐링 (thermal annealing) 을 겪으면서 부작용이 발생하지 않습니다. 전반적으로, AST 2800 빠른 열 프로세서는 섬세한 재료의 빠르고 정확한 열 어닐링 (thermal annealing) 이 필요한 모든 반도체 제작 작업에 유용한 도구입니다. 고급 온도 측정 (Advanced Temperation Measurement) 및 제어 (Control) 알고리즘과 정교한 안전 기능의 조합으로, 광범위한 프로세스에 대한 신뢰성이 높고 다양한 장치입니다.
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