판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9092796

STEAG/MATTSON/AST 2800은 반도체 장치의 빠른 열 연결에 사용되는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 고효율 열 전달 시스템 (heat transfer system) 을 갖추고 정확하고 균일 한 온도 프로파일을 제공합니다. 이 장치에는 이상적인 온도를 모니터링하고 유지하기위한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 장착되어 있습니다. 이 기계는 풀 웨이퍼 (full wafer) 에 균일 한 온도 프로파일을 제공하도록 설계되었으며, 열 균일성을 보장하기 위해 고급 온도 프로파일 링 도구 (advanced temperature profiling tool) 가 장착되어 있습니다. 자산의 고급적이고 효율이 높은 열 모델은 다단 열 전달 단계 (multi-stage heat transfer stage) 를 사용하여 원하는 온도를 달성합니다. 이 구성을 통해 장비는 최대 500 (w mm )/100 (w mm2) 의 넓은 표면적을 가열 할 수 있습니다. 이 시스템은 열 질량이 낮아 높은 처리량 (Thermal Response Time) 과 빠른 처리 속도 (Fast Processing Speed) 를 위한 열 반응 시간을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 장치는 여러 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 고장 방지 (Fail-Safe) 환경 제어 장치 (Environmental Control Machine) 가 포함되어 있어 공구가 일반 프로세스 환경이 아닌 환경에서 안전하게 작동할 수 있습니다. 또한 자동 차단 시스템 (automatic shut-off system) 을 갖추고 있어 비상시 자산이 종료되고 공정 가스에서 이상을 감지하고 감지하는 압력 센서 (pressure sensor) 가 발생합니다. 성능면에서, 이 모델은 효율적인 온도 조절 장비와 고효율 온도 프로파일 (temperature profile) 을 갖추고 있습니다. 또한 전체 프로세스 동안 높은 수준의 반복성과 정확성 (repeatability and accuracy) 을 허용하도록 특별히 설계되었습니다. 또한, 이 시스템은 모듈 식 설계로 설계되었으며, 몇 초 안에 다른 어닐링 (Annealing) 기술 사이를 전환 할 수 있습니다. 전반적으로, AST 2800 (AST 2800) 은 다용도로 효율적이고 빠른 열 프로세서로, 뛰어난 성능과 안정적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 안전 기능, 고급 열 제어 (thermal control) 및 고효율의 열 전달 장치 (heat transfer unit) 를 갖춘 다양한 반도체 어플리케이션에 적합합니다.