판매용 중고 KLA / TENCOR 1007E #9254091
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KLA/TENCOR 1007E Prober는 반도체 장치 테스트 작업을 위해 설계된 다중 응용 프로그램 전문가입니다. 이 프로버는 완전 자동화 된 DPM (Digital Pattern Measuring) 모듈, 스테이지, 스테퍼 모터 및 옵토 기계식 헤드를 포함한 구성 요소의 조합으로 제작되었습니다. 이러한 구성 요소 조합은 고성능, 신뢰성, 정확한 방식으로 소형 집적 회로를 테스트합니다. DPM 모듈은 고해상도 모니터 (HD 해상도 모니터) 를 통해 프레임 버퍼, CCD 이미징 칩과 같은 전용 비디오 처리 구성 요소뿐만 아니라, 정확한 패턴 측정이 가능합니다. 이 스테이지에는 닫힌 루프 스테퍼 모터 (closed loop stepper motor) 가 있으며, 초당 0.1 ~ 2.0 미크론 사이의 속도로 샘플을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 광학-기계식 헤드 (opto-mechanical head) 는 광학 이미징 시스템을 사용하여 프로브를 샘플의 표면에 정확하게 정렬합니다. 머리는 또한 위치를 빠르게 조정하여 반복 가능한 저소음 프로브 (low-noise probing) 를 허용합니다. KLA 1007E Prober는 반도체 장치를 테스트하고 특성화하기 위한 다재다능하고 효율적인 시스템으로 설계되었습니다. Prober에는 Prober의 작업을 구성, 제어 및 모니터링하는 데 사용되는 통합 SCC (Stage Control Console) 가 포함되어 있습니다. SCC 는 모든 Prober 명령에 대한 액세스를 제공하는 제어판 (Control Panel) 과 실시간으로 Prober 의 성능을 설정하고 모니터링하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한, 사용자는 Probe 및 Stage 구성을 저장 및 리콜 할 수있는 프로그램 파일을 제공합니다. TENCOR 1007E Prober는 접촉 프로브, 변형 게이지 프로브, 리츠 와이어, 열린 핀 프로브 등 다양한 프로빙 시스템과 호환되도록 설계되었습니다. 열 특성화를 위해 유전체 프로브와 함께 사용할 수도 있습니다. 이 프로버에는 데이터 획득 및 제어를 위해 PC에 연결하기 위한 I/O (Digital Input Output) 포트가 장착되어 있습니다. 내장 격리 계층은 장치를 정적 (static), 열 (heat) 및 측정에 영향을 줄 수 있는 기타 장애로부터 보호합니다. 요약하자면, 1007E Prober는 반도체 장치 테스트 작업에 대한 다중 응용 프로그램 자동 증명서입니다. 이 모듈에는 매우 정확한 DPM 모듈, 샘플 포지셔닝을위한 신뢰할 수있는 스테퍼 모터, 반복 가능한 프로브를위한 옵토 기계식 헤드 (opto-mechanical head) 가 있습니다. 이 Prober는 다양한 Probing 시스템과 호환되며 프로그래밍, 제어 및 모니터링을위한 Stage Control Console을 갖추고 있습니다. 내장 격리 계층은 다양한 환경 영향으로부터 장치를 보호하므로, 정확하고 재현 가능한 측정이 가능합니다.
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