판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 #293658866

TEL I/F Block for Clean Track Mark 8은 패턴 된 필름 이미지를 기판에 만들도록 photoresist의 정밀 노출을 위해 설계된 photoresist 장비입니다. 이 제품은 비용 효율이 높고, 처리량이 높으며, 노출 및 이미지 개발을 위한 사용자 친화적인 툴로서, 이 시스템은 6 인치 기판에 대해 약 20m/s 변조 스캔을 통해 노출 시간을 최소화하고 사진 유발 이미지 흐림 현상을 줄일 수 있습니다. 또한, 최대 위치 정확도 0.1õm, 기판의 전체 이미지 에지 투 에지 스캔 (edge to edge scan) 을 포함한 자동 웨이퍼 정렬이 특징입니다. 이 장치는 고품질의 광학 이미징 머신 (optical imaging machine) 을 사용하여 광범위한 이미지 형성 기능을 보장합니다. 기판 지터 (jitter) 에 대한 총 제어를 위해 2 피스 주철 그리드로 설계되었으며 축 기울기는 기판에 정확하고 반복 가능한 이미지 배치에 맞게 조정이 가능합니다. 이 장치의 자동 레벨 링 도구는 고속 선형 드라이브, 정밀 인코더 및 Z축 은하계 컨트롤러를 사용하여 정확하고 반복 가능한 기판 위치를 보장합니다. 이 자산은 광학 경로의 온도 관련 확장 및 수축을 최소화하여 이미지 처리 성능 (영상) 을 높일 수 있도록 설계되었습니다. Clean Track Mark 8용 TOKYO ELECTRON I/F Block 고급 노출 컨트롤러는 사용자 친화적 작동을 위해 그래픽 사용자 인터페이스를 사용합니다. 통합 PARADITM 소프트웨어 패키지를 사용하면 노출 시간, 스팟 크기, 포커스 (focus) 와 같은 이미징 매개변수를 최적화하여 최대 노출 정밀도를 높일 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 다양한 포토 esist 코팅보다 뛰어난 이미징 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 노출 장비는 TEL/TOKYO ELECTRON 독점 석판화 제품과 함께 사용할 때 최적의 성능에 최적화되어 있습니다. 또한이 장치는 다양한 타사 포토 esist 제품과 호환됩니다. TEL I/F Block for Clean Track Mark 8은 사용자에게 비용 효율적이고, 처리량이 높으며, 사용자에게 친숙한 사진주의 이미징을 위한 고급 노출 시스템을 제공하도록 설계되었습니다. 디자인 기능은 뛰어난 이미징 성능과 최대 노출 정밀도를 보장합니다.