판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269628

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 포토 esist 장비는 반도체 제작 프로세스에 사용하기위한 반자동 증착 시스템입니다. 이 장치는 사용자 정의 프로세스로 포토 esist 재료의 정밀 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 통합 작동 패널이 있는 컨트롤러 모듈, 기판 처리/포토 esist 처리 모듈, 진공 배치 모듈, 광 정렬 모듈 및 검출기 모듈로 구성됩니다. 컨트롤러 모듈 (Controller Module) 에는 사용자 정의 배치 프로파일을 정의하고 저장하고 공구 매개변수를 모니터링할 수 있는 Windows 기반 소프트웨어 제어가 포함되어 있습니다. Substrate Processing/Photoresist Handling Module은 기판 처리 및 사전 처리 프로세스를 담당합니다. 여기에는 기판을 보관하기위한 열 장치 및 특수 목적 카세트가 포함됩니다. 진공 증착 모듈 (Vacuum Deposition Module) 은 포토 esist 재료 또는 기타 박막 재료를 기판에 배치하도록 설계되었습니다. 균일 한 박막 증착에 저압, 횡격막 제어 증착 기술을 사용합니다. 광학 정렬 모듈 (Optical Alignment Module) 은 증착원과 관련하여 기판을 정렬합니다. 이 모듈에는 기판 또는 웨이퍼 (wafer) 의 위치를 감지하는 카메라와 기판의 정확한 등록을 위한 이동식 광학 정렬 장치 (optical alignment device) 가 포함되어 있습니다. 마지막으로, Detector Module은 샘플 웨이퍼에 배치된 박막 두께를 측정합니다. 전반적으로, TEL CS450 photoresist 자산은 다양한 반도체 제작 공정에서 photoresist 증착을 수행하기 위해 능률적이고 비용 효율적인 모델입니다. 이 장비에는 정밀 박막 증착을위한 통합 프로세스 제어, 사전 처리, 진공 증착 구성 요소와 같은 여러 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 또한, 시스템은 광학 정렬 모듈을 통합하여 균일 한 필름 증착을위한 기판의 적절한 정렬을 보장합니다. 검출기 모듈은 증착 된 포토 esist 재료의 올바른 두께를 보장합니다. 이러한 기능을 결합하여 TOKYO ELECTRON CS 450은 반도체 제작 공정에서 박막 증착에 이상적인 단위로 만듭니다.