판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269627

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment는 반도체 산업에 사용 된 고급, 정교한 장비 중 하나입니다. 이 시스템은 증발, 스퍼터링 및 스핀 코팅과 같은 증착에 여러 변조를 사용합니다. 이 "코우팅 '은 기판 에 신속 히 그리고 매우 정확 한" 코우팅' 을 할 수 있는 능력 을 가지고 있다. 대용량 기판은 처리량이 높으며, 프로세스 호환성은 최대 4500mm입니다. TEL CS450 장치에는 내부 저항 모니터링 머신 (in-situ resist monitoring machine) 도 포함되어 있어 기판의 저항 두께를 실시간으로 제어 할 수 있습니다. 증발 도구 (evaporator tool) 는 대부분의 재료에 대한 빠른 열 증발을 위해 전자 빔 가열을 사용하며, 안전하고 효과적인 작동을 위해 기본적으로 통합 된 필라멘트 전원 공급 장치를 포함합니다. 증발기 (evaporator) 자산에는 처리 중 기질의 빠른 대피를 돕는 효율적인 cryopump이 있습니다. 이 모델에는 아르곤 (argon) 과 제논 (xenon) 스퍼터링을 모두 제공하는 멀티 소스 스퍼터 모듈과 다중 재료 증착을위한 독립적 인 계량을 갖춘 고급 스퍼터 소스가 포함되어 있습니다. 도쿄 전자 CS 450 (TOKYO ELECTRON CS 450) 의 스핀 코팅 장비의 정밀도는 높은 균일성으로 보완되며, 이는 기판에 포토 esist를 빠르고 정확하게 증착 할 수있는 시스템의 능력을 향상시킵니다. 스핀 코터에는 속도 및 균일 성을 정확하게 제어 할 수있는 2 헤드 드라이브 장치 (two-head drive unit) 도 포함되어 있습니다. 기계의 균일성과 정확도는 도구의 활성 자동 회전 모듈 (Active Autorotation Module) 에 의해 더욱 강화되며, 이 모듈은 고급 동작 컨트롤러를 사용하여 균일 한 스핀 속도를 유지합니다. CS 450 Photoresist Asset은 안정적이고 효율적인 증착 모델로, 정확성과 높은 처리량을 모두 제공합니다. 효율적인 방어는 공정 중 기판 미러링 (Safe Substrate Mirroring) 을 가능하게하며, 현장 내 저항 모니터링 장비는 증착 요건을 충족시키기 위해 적시에 조정 할 수 있습니다. 또한, 스퍼터 (sputter) 및 증발 소스는 광범위한 프로세스 호환성을 제공하며, 뛰어난 포토 esist 품질을 유지하면서 높은 균일성과 빠른 증착 작업을 제공 할 수 있습니다.