판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269622

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 반도체 제조 장비 및 서비스 제공 업체 인 TEL이 개발 한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 반도체 제조에 사용되는 포토레시스트의 가공시간을 단축하고 가동비용 (Oporesist) 을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. TEL CS450 시스템은 LIFT (Laser Induced Forward Transfer) 로 알려진 고급 노출 기술을 사용합니다. 이 기술 은 "레이저 '광원 에서" 웨이퍼' 표면 으로 정확 한 "패턴 '을 옮기는 것 을 포함 한다. 고급 "레이저 '빛 을 사용 함 으로써 전달 된" 패턴' 이 정확 하고 흐림 이나 왜곡 을 일으키지 않게 된다. TOKYO ELECTRON CS 450 장치는 놀라운 프로세스 제어 기능으로 매우 정확한 패턴을 제공합니다. 사용자는 Active Alignment (활성 정렬), Uniform Exposure (균일 노출) 및 Multi Dimension Exposure (다중 치수 노출) 와 같은 광범위한 노출 옵션을 제공하여 생산 프로세스의 조명 노출 및 타이밍을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 CS 450 머신은 배치 처리 (batch processing) 뿐만 아니라 단일 웨이퍼 어플리케이션에 적합하므로 다양한 프로덕션 시나리오에 적합합니다. TOKYO ELECTRON CS450에는 고급 추적 및 모니터링 도구도 장착되어 있습니다. 이 자산은 심각한 문제가 되기 전에이 과정의 잠재적 불완전성과 이상을 감지하도록 설계되었습니다 (영문). 또한 내장형 모니터링 시스템을 통해 비정기적으로 노출된 영역이나 패턴을 신속하게 찾을 수 있습니다 (영문). TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 모델은 최고의 성능과 안정성을 위해 설계되었습니다. 최신 VLSI 기술로 구동되며, 하드웨어와 소프트웨어의 측면에서 매우 안정적입니다. 또한, TEL CS 450 장비는 에너지 비용을 절감하고 환경을 보호하는 매우 에너지 효율적인 설계를 기반으로 설계되었습니다. 전반적으로 CS450 시스템은 반도체 업계에 이상적인 솔루션으로, 놀라운 프로세스 제어 기능을 갖춘 고성능 패턴화 (patterning) 솔루션을 제공합니다. 또한 비용 절감, 에너지 효율 설계, 최첨단 프로세스 추적 기능 등을 지원합니다. 이 기계는 신뢰성 있고 고급 (Advanced) 으로, 포토레지스팅 분야의 요구 사항을 처리 할 수 있습니다.