판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269620

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 TEL Limited에서 생산 한 고정밀 포토 esist 장비입니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 기타 최첨단 전자 제품 제조에 적용되도록 설계되었습니다. TEL CS450 시스템은 현미경과 석판 도구의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 현미경은 이미징 (Imaging) 과 마스크 패턴을 웨이퍼에 임계 오버레이 정렬하도록 설계되었습니다. 처리량이 높고 정확도가 높은 ALS (Automated Lens Unit) 가 특징입니다. 렌즈 머신의 수치 조리개는 1.5, 배율은 최대 1,400X이며, 리소그래피 (lithography) 도구와 완전히 통합되어 있습니다. 리소그래피 (lithography) 도구는 독점적 인 레이저 빔 (laser-beam) 작문 프로세스를 사용하여 포토리스트 (photoresist) 를 웨이퍼에 적용하는 고해상도 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 또한 고정밀도 마스크 중심 에셋을 사용하여 마스크를 웨이퍼 (wafer) 의 목표 영역에 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 모델은 정확한 마스크 정렬을 위해 통합 표준 포토마스크 측정 및 정렬 장비를 사용하며, 동적 로딩 (dynamic loading) 및 정렬 (alignment) 기능을 통해 빠른 처리를 지원합니다. TOKYO ELECTRON CS 450 시스템은 고정밀 패턴 생성을 위해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 신뢰할 수 있는 작동을 위해 제작되었으며, 필요에 따라 쉽게 교체하거나 업그레이드할 수 있는 모듈식 (modular) 구성요소를 갖추고 있습니다. 자동 시스템 장애 감지 (fault detection) 및 경보 관리 (alarm management) 를 포함한 고급 장치 모니터링 기능이 있습니다. CS 450 툴은 다양한 고객 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성과 확장성을 제공합니다. 300mm 웨이퍼 (wafer) 와 같은 다양한 유형의 기판을 처리 할 수 있으며, 광범위한 생산 자동화 및 제어 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로, CS450은 신뢰성 있고 정밀한 포토레시스트 (photoresist) 처리 자산으로, 고급 집적 회로 및 기타 최첨단 전자 장치 제작 분야에 적합합니다. 고해상도, 유연성, 확장성을 제공하여 다양한 운영 환경의 요구 사항을 충족합니다.