판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269607

텔/도쿄 전자 CS450 (TEL/TOKYO ELECTRON CS450) 은 photoresist를 정밀하고 정확하게 기판에 적용 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 포토 esist 시스템은 '슬릿 스캔 (slit-scan)' 기술을 기반으로하며, 따라서 자외선 경화 빔은 포토 esist 코팅 표면을 통해 '레이크 (rake)' 방식으로 움직입니다. 이를 통해 사용자는 photoresist 레이어의 깊이와 두께를 제어할 수 있으며, 기판 변위 (substrate displacement) 와 같은 다른 변수를 제거할 수 있습니다. TEL CS450 Photoresist Unit은 진동 분리 장치, 슬릿 스캔 UV 광원, x-y 스캔 동작 단계 및 photoresist 컨트롤러의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 진동 분리 장치 (Vibration Isolator) 는 적응 댐핑 머신 (Adaptive Damping Machine) 을 사용하여 기판 위로 이동할 때 공구의 정확도를 최대화하고 적용된 힘을 줄여 기판이 손상되지 않도록 합니다. 슬릿 스캐닝 UV 조명은 진공 자외선 (VUV) 레이저로, 포토 esist 물질을 활성화시키기 위해 특정 파장 (195-205nm) 의 빛을 생성합니다. 그런 다음 x-y 스캐닝 동작 단계 (x-y scanning motion stages) 에 의해이 파장이 표면에 균등하게 퍼져 원하는 photoresist 깊이 및 레이어 균일성을 달성합니다. photoresist 컨트롤러를 사용하여 에셋 매개 변수 (예: 스캔 속도, 통과 깊이, 통과 속도) 를 조정할 수 있습니다. 또한 이 "컨트롤러 '를 사용 하면 고치는 대로 포토레시스트 (photoresist) 재질 을 모니터링 할 수 있으며, 그것 은 원하는 결과 를 보장 해 준다. 이 모델은 또한 자동 교정 기능 (auto-calibration function) 을 갖추고 있어 교정 프로세스를 자동화하고, 사용자가 보다 빠르고 효율적으로 작업할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 450은 또한 높은 포토 esist 균일성, 정확한 코팅 두께 및 낮은 재 작업 속도로도 유명합니다. 전반적으로, CS 450은 신뢰할 수 있고 효율적인 포토리스 (photoresist) 장비로, 사용자가 다양한 기판에 포토리스 스트를 빠르고 정확하게 적용 할 수 있습니다. 시스템의 슬릿 스캐닝 기술 (slit-scanning technique), 고급 컴포넌트 (advanced components) 및 조정 가능한 매개변수 (adjustable parameters) 는 정확한 수준의 포토리스 코팅이 필요한 많은 응용 프로그램에 이상적인 단위가됩니다. 이 시스템은 이전보다 높은 일관성과 효율성 (consistency and efficiency) 으로 사용자의 정확한 요구 사항을 충족하는 결과를 얻을 수 있습니다.