판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269603

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 다양한 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 프로그레시브 스캔 모터 (progressive scan motor), 최적화 스캐너 (optimized scanner) 및 저항 프로세서 (resist processor) 가 장착되어 있어 다용도가 높은 장비입니다. 마스크 크기가 최대 80 × 80 mm 인 다양한 기질에서 양수 (positive) 와 음수 (negative) 저항을 모두 활용할 수 있습니다. TEL CS450의 프로그레시브 스캔 모터 (progressive scan motor) 는 겹치는 포토레지스트 레이어와 패턴을 형성하는 데 필요한 시간을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 모터는 연산자의 개입을 최소화하면서 반복 가능하고 신뢰할 수있는 프로세스를 제공합니다. ± 2 jm의 정렬 정확도와 ± 0.3 jm의 반복성은 패턴 기질에 걸리는 시간을 크게 줄이고 품질 결과를 얻습니다. TOKYO ELECTRON CS 450의 스캐너는 대형 파이프 라인 전송 장치입니다. 이 장치를 사용하면 광학 (optical) 조작 (irradiance) 을 동적으로 제어하여 저항층을 공격할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 ISO 인증 저항 분배 및 저항 슬라이스 프로세서 (slice processor) 가 포함되어 있으며, 마스크 또는 기판에서 깨끗하고 일관된 레이어를 보장하면서 안정적이고 일관된 저항 구성을 제공합니다. 이 기계는 또한 여러 파장 노출 조건에서 실행되는 것과 함께 고해상도 (higher-resolution) 기능과 저해상도 (lower-resolution) 기능을 모두 수용합니다. 도쿄 전자 CS450 (TOKYO ELECTRON CS450) 은 또한 리소그래피 도구를 노출하는 동안 중간 마스크의 자동 위치를 지정하기위한 고급 기술을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 광학 옵션을 손쉽게 조정하고 세밀하게 조정할 수 있으므로 기판 간에 정확한 해상도와 균일한 (uniform) 패턴화가 가능합니다. CS 450은 프로그래밍 가능한 사용자 친화적 터치스크린 제어판 (TouchScreen Control Panel) 으로 인해 설치와 사용이 용이하기 때문에 작은 실험실에 적합합니다. 또한, 이 자산은 운영 비용이 저렴하며, 최대 6 개의 기판을 병렬로 실행할 수 있으므로 처리량이 향상됩니다. 따라서, 석판화 프로젝트를 위해 비용 효율적이지만 신뢰할 수있는 포토리스트 (photoresist) 모델을 찾는 사람들에게 훌륭한 선택입니다.