판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9212671

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris는 FSI Ltd에서 개발하고 제조 한 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 처리 응용 분야에 사용되는 포토레시스트의 높은 정확도와 높은 처리량 패턴을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 정확성과 반복성이 우수하여 최대 50 nm 크기의 패턴을 생성 할 수 있습니다. 기계는 고급 증착 (Advanced Deposition) 과 패턴 (Patterning) 프로세스로 구성되며, 포토 esist에서 미세한 패턴의 정확하고 높은 처리량을 만들 수 있습니다. 공정의 첫 번째 단계는 포토 esist 레이어를 웨이퍼 (wafer) 표면에 증착시키는 것입니다. 그 다음 이 광전자 는 "레이저 '와 같은 빛 의 근원 에 노출 되며, 광전자 의 광활성 성분 들 은 광전자 에서 광에너지 즉" 패터링' (pattering) 을 만드는 빛 "에너지 '와 반응 한다. 그런 다음, 그 도구 는 용매 를 사용 하여 광원 에 노출 되지 않은 부분 에서 광미술사 (photoresist) 를 "에치 '(etch) 시킨다. 그러면 photoresist에서 원하는 패턴이 만들어집니다. FSI Polaris 자산에는 증착 및 패턴 처리 과정을위한 고정밀 자동 스캐너가 장착되어 있습니다. 이 "스캐너 '는 광원 과 광원 증착 을 정확 하게 배치 하고 제어 할 수 있다. 이 모델에는 패턴 처리 (patterning process) 를 정확하게 제어할 수있는 고급 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 광도, 패턴 크기, 모양, 기타 매개변수를 조정할 수 있습니다. TEL 폴라리스 (TEL Polaris) 장비에는 노출 된 포토 esist를 처리하기위한 다양한 프로세스와 장비가 포함되어 있습니다. 이러 한 과정 에는 "포토레지스트 '를 굽고 개발 하는 것 과 노출 된" 포토레지스트' 를 식각 하고 청소 하는 것 이 포함 된다. 이 시스템은 또한 홀비아 (hole vias) 와 다중 레이어 패턴 (multi-layer pattern) 과 같은 복잡한 패턴을 손쉽고 정확하게 생성할 수 있습니다. 결론적으로, Polaris 유닛은 매우 정확하고 높은 처리량 photoresist 패턴을 생산하도록 설계된 고급 photoresist 머신입니다. 이 도구에는 고정밀 자동 스캐너 (Automated Scanner), 고급 패턴화 소프트웨어 (Advanced Patterning Software) 및 노출된 포토레지스트 처리를 위한 광범위한 프로세스와 장비가 장착되어 있습니다. 이 자산은 탁월한 정확성과 반복성으로 최대 50 nm (50 nm) 까지 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다.