판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9202286

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000 포토 esist 장비는 집적 회로 생산에 사용되는 다기능 저부피 CASS/Lithography 시스템입니다. FSI Polaris 2000은 최대 12 인치 와퍼의 스크라이빙 영역 커버리지를 갖춘 풀 다이 사이즈 포토 esist 유닛입니다. 이 기계는 프로세스 유연성과 확장성을 염두에두고 설계되었으며, 다중 계층 장치 (multi-layer device) 생산을위한 사진 분석 프로세스를 제공합니다. 이 도구는 photoresist 에셋과 Computar-assisted photo-lithography (CASS) 를 사용하여 단일 photoresist 레이어를 다중 레이어 장치에 정확하고 정확하게 적용합니다. 이 기계에는 6.5KW 정전식 전원 공급 장치, 다중 파형 발전기 및 레이어 균일 한 치료를위한 이중 영역 가열이 장착되어 있습니다. 전원 공급 장치는 정밀도 (Precision) 및 다양한 전원 수준을 제공하여 정확도 및 반복성을 향상시키는 반면, CASS 및 다중 영역 (Multi-Zone) 은 포토레지스트의 정확한 정렬, 해상도 및 노출을 허용합니다. 이 모델은 통제 된 환경에서 포토 esist 솔루션의 정확한 분배를 허용합니다. 2 단계 분배 과정; 첫 번째 단계는 가변 속도 분배 펌프 (variable speed dispense pump) 를 사용하며, 두 번째 단계는 조정 가능한 에어 나이프를 사용하여 대상 레이어의 포토 esist 흐름을 형성하고 제어합니다. 이 기계는 또한 조절 가능한 공기 나이프를 특징으로하여 최대 12 "폭의 흐름과 속도 및 볼륨 제어를 허용합니다. 자동 포드 로드 및 언로드 기능은 기판 로드/언로드를 완벽하게 자동화하고 다른 FSI 시스템과의 통합을 지원합니다. 또한 디지털 이미지 분석 (digital image analysis), 자동 필름 두께 측정 (automatic film thickness measurement), 향상된 데이터 재현성 (enhroved data reprodibility) 등 다양한 개선 옵션을 제공합니다. 폴라로이드 2000 장비는 12 초 ~ 12 분 미만의 처리 시간이 가능하며, 0.3 미크론, 600 미크론 정도의 레이어 두께를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 레이어에서 레이어까지 6nm 이내에 필름 반복성을 달성 할 수 있으며, 최대 200nm까지 비전 포지셔닝을 제공합니다. 요약하면, TEL Polaris 2000 포토리스 장치 (photoresist unit) 는 집적 회로 생산에 사용되는 다기능, 저용량, CASS/Lithography 머신으로 통합 전원 공급 장치, 다중 파형 생성기, 이중 영역 가열 및 자동 포드 로드/언로딩을 통해 향상된 성능 및 웨이퍼 스크라이빙의 정확성을 제공합니다. 이 도구는 다양한 프로세스 시간을 가지며, 정밀 해상도와 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다.