판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2000은 고급 마이크로 세공 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 포토 esist 장비입니다. 최첨단 반도체 프로세스의 요구 사항을 충족할 수 있도록 "성능 향상 (Performance) '과" 출력 (Output)' 을 향상시키기 위해 설계된 수많은 기능이 통합된 시스템입니다. FSI Polaris 2000에는 깊은 UV 광원과 저온 베이킹 챔버가 장착되어 있습니다. 이는 처리 중 낮은 입자 및 오염 수준을 보장하며, 정확한 빛 노출 시간을 보장합니다. 고정밀 마스크 정렬자 (high-precision mask aligner) 도 포함되어 복잡한 패턴과 피쳐의 정확한 생산을 보장합니다. 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 TEL 폴라리스 2000 (TEL Polaris 2000) 에는 photoresist 프로세스의 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 노출 및 개발 프로세스에 대한 사용자 정의 레시피, 화학 욕조를위한 정확한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller for the Chemical Baths) 및 장시간 동안 유닛을 최적으로 작동시키기위한 자동 유지 관리 루틴 (Array of Automated Maintenance routine) 이 포함됩니다. 도쿄 전자 폴라리스 2000 (TOKYO ELECTRON Polaris 2000) 에 포함 된 열 제어 기계는 또한 높은 수준의 정확성과 정확성을 위해 설계되었습니다. 이것 은 광저온 "베이킹 '과정 중 에 일관성 있는 온도 와 평온 한 온도" 프로파일' 을 보장 해 주는데, 이것 은 균일 한 결과 를 얻는 데 중요 하다. 내장 안전 및 인체 공학 기능은 운영자의 안전과 편안함을 보장합니다. 이 도구에는 자동 화학 목욕 수준 모니터링, 자동 통풍, 온도 안전 인터 록, 사용자 친화적 인 자동화 구성 요소가 포함됩니다. 전반적으로 Polaris 2000 자산은 고급 마이크로 세공 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 그 기능의 조합은 매우 정확하고 반복 가능하며, 안전성과 인체 공학적 (ergonomic) 기능을 통해 안전하고 사용이 편리합니다.