판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9205483

FSI MERCURY는 미크론 레벨 기능 크기 해상도를 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 고도로 민감하고 고해상도 시스템 (High Resolution System) 으로, 높은 수준의 생산 정밀도 및 반복성으로 포토레시스트를 미세하게 패턴화할 수 있습니다. MERCURY 장치는 석판기, 광전자 (photoprojector) 및 정밀 석영 단계를 포함한 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 리소그래픽 머신 (lithographic machine) 은 머신 내의 핵심 기술로서 디지털 인코딩된 광학 (optics) 을 사용하여 설계 된 회로에 정확하게 일치하는 다양한 이미지 크기를 제공합니다. 그런 다음, 포토프로젝터는 정교한 알고리즘을 사용하여 고해상도의 쿼츠 (quartz) 단계에 디자인 이미지를 투영하여, 기판에 포토레시스트의 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. 석영 단계는 또한 FSI MERCURY 도구의 필수 구성 요소입니다. 포토리스 (photoresist) 노출에서 피쳐 크기를 제어하는 데 중요한 매우 정확한 반복 가능한 동작을 제공합니다. 또한, 쿼츠 스테이지 (quartz stage) 는 공기 베어링에 장착 된 프레임에 구축되어 뛰어난 모션 제어 및 안정성을 제공합니다. 쿼츠 스테이지는 MERCURY가 다른 광 발전기 및 기판에 걸쳐 높은 반복 성과 정밀 수준을 달성 할 수 있도록 합니다. FSI MERCURY의 또 다른 장점은 빠른 프로토 타입을 위해 한 번에 최대 20 개의 프로세스 레시피를 저장할 수있는 기능입니다. 이를 통해 새로운 디바이스 및 운영 프로세스를 신속하게 개발할 수 있습니다. 마지막으로, MERCURY는 생산량이 많은 소프트웨어를 지원하고 모니터링합니다. 이 소프트웨어는 운영 비용을 최소화하고, 처리량을 향상시키고, 상세한 프로세스 품질 정보를 제공합니다. 또한, 모델이 안전하게 작동되도록 안전 연동 자산에 의해 보호되는 Class 1M 레이저 (Class 1M laser safe) 입니다. 요약하자면, FSI MERCURY 포토레스 장치 (photoresist equipment) 는 고정밀 패턴화 및 서브미크론 피쳐 크기 해상도를 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다. 자동화된 도구, 높은 관성 (inertia) 인 쿼츠 스테이지 (quartz stage) 및 강력한 안전 연동 시스템 (safety interlock system) 을 통해 많은 마이크로 전자 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.