판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9295095

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 웨이퍼 표면 및 중간 수준의 기능을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능과 사양 (specification) 을 제공하여 실험실 사용과 대용량 생산의 정확성과 효율성을 보장합니다. 서프 스컨 6420 (Surfscan 6420) 장치에는 스티칭을 사용하여 웨이퍼의 전체 이미지를 만드는 브라이트필드 현미경 (brightfield microscope) 이 장착되어 있어 표면을 보다 포괄적으로 볼 수 있습니다. 현미경은 최대 1,000,000 픽셀 해상도와 최대 1200äm의 필드 깊이로 이미지를 캡처합니다. 고급 이미징 머신 (Advanced Imaging Machine) 은 초점 이온 빔 이미징 (FIB) 을 통해 높은 수준의 광학 분석을 제공하여 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 도구는 또한 이미지 분석, 결함 검사를 위한 소프트웨어 제품군을 통해 데이터 분석 (data analysis) 및 결함 검토 (defect review) 를 수행할 수 있습니다. 사용자는 소프트웨어를 통해 여러 데이터 파일에 액세스할 수 있으며, 자동 분류, 보고서 생성, 결함 특성에 대한 통계 보고서 (Statistical Report) 등 분석 작업을 수행할 수 있습니다. Surfscan 에셋에는 나노 미터 표면 지형 기능에 대한 높은 정밀도 측정을 제공하는 3D 표면 도량형 모듈도 포함되어 있습니다. 레이저 간섭법 (laser interferometry) 을 사용하여 다양한 기판에서 표면 높이를 정확하게 측정합니다. 이 모델은 오버레이, 임계 치수 (CD), 웨이퍼 평평 및 컨투어 높이 맵을 측정 할 수도 있습니다. 또한, 이 장비에는 대화형 사용자 인터페이스, 맵 표시, 자동 작업 제출, 데이터 비교, 사양 외 감지, 알고리즘 기반 결함 분류기 등의 전체 하드웨어 및 소프트웨어 기능이 포함되어 있어 정확성이 향상되었습니다. 이러한 기능을 통해 반도체/전자 업계의 고객을 위한 효율적이고 정확한 생산 회선 (production line) 분석이 가능합니다. KLA 6420 Surfscan은 다양한 기능, 신뢰할 수있는 정확성, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 실험실과 생산 라인을 지원하여 심층적 인 웨이퍼 표면 분석을 수행합니다. 고급 이미징 시스템, 신뢰할 수 있는 도량형 (metrology) 기능, 포괄적인 소프트웨어 기능을 갖춘 Surfscan은 wafer 테스트 및 도량형을 위한 안정적이고 강력한 선택입니다.