판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9205114
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판매
ID: 9205114
웨이퍼 크기: 2"
MBE System, 2"
Sources: 2.75" Flange
Wagon wheel prep chamber: Auger analysis
Out-gassing: Auxiliary chamber
Manual valve arsenic cracker
Sources: Al, Ga1, Ga2, In
Si & Be Dopant sources
Functional rheed and QMS
(3) Ion pumps
Used for InAlGaAs
Cryo pump and compressor
Ti ball pump
Bake out panels
Load lock:
Turbo pumps
Scroll pumps.
VARIAN/VEECO GEN II는 나노 스케일 재료 증착 및 특성에 대한 뛰어난 성능과 다용성을 제공하는 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 장비입니다. MBE는 고도로 통제 된 환경을 활용하여 원자 규모의 정확도로 얇은 재료를 증발, 증착시켜 광전자 (optoelectronic), 자기 (magnetic), 반도체 (semiconductor) 구조를 만드는 데 선호되는 기술입니다. VEECO GEN II MBE 시스템은 울트라 하이 진공 챔버 (Ultrahigh Vacuum Chamber) 와 박막 증착을위한 재료를 전달 할 수있는 일련의 증착 소스로 구성됩니다. 이 전달은 열 증발 또는 전자 빔 보조 증발, 그리고 여러 원소가있는 복잡한 용액의 성장에 대한 CBE (Chemical Beam Epitaxy) 를 통해 달성 될 수 있습니다. 저에너지 이온 빔을 통해 고속 밀도를 얻을 수있는 반면, 이온 폭격 스퍼터링 (ion bombardment sputtering) 을 통해 초고속 순도를 달성 할 수 있습니다. VARIAN GEN II는 최대 4 개의 레이어 시스템의 증설을 지원하기 위해 트윈 소스 구성으로 제작되었습니다. 이 장치는 또한 최대 6 개의 증착원을 수용하기에 충분히 강력하며, 복잡한 구조물의 증착을 허용합니다. 또한, 기계 에는 자동화 된 "가스 '전달 도구 가 포함 되는데, 이 도구 는 증착 과정 중 에 산소, 질소, 탄소 와 같은 여러 가지" 가스' 를 첨가 하는 데 사용 할 수 있다. GEN II (Gen II) 의 강력한 제어 소프트웨어는 극도로 정확한 균일성을 달성하고 증착 과정을 통제 할 수 있음을 의미합니다. 제어 소프트웨어는 각 프로세스에 대한 정확한 매개변수를 프로그래밍하여 복잡한 나노 구조를 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한 다양한 고급 in-situ 특성 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 광학 분광계 (optical spectrometer) 와 증착 물질의 두께, 구성 및 특성을 측정하는 데 사용할 수있는 양자 효율 검출기가 포함됩니다. VARIAN/VEECO GEN II는 optoelectronics, nanoelectronics, nanophotonics 및 기타 분야에 대한 연구 및 개발과 같은 고급 응용 분야에 이상적인 고급 MBE 자산입니다. 이 모델은 뛰어난 성능과 다용성을 제공하여 정밀 나노 구조를 원자 규모 정확도로 제작할 수 있습니다.
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