판매용 중고 SVTA / SVT ASSOCIATES 440 S1 MBE #9230364

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ID: 9230364
웨이퍼 크기: 3"-4"
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system, 3"-4" SVT Silicon MBE epitaxial OMICRON Electronics included Method: Thin-film deposition of single crystals Transistor: Cellular phones & WiFi Load lock: Chamber with water cooling Quick hatch with O-ring seal & CF copper gasket option GP Model 204 gold seal valve (Roughing line) Sample heater: 200° C Heater power supply: 1000 W Dimension heater control loop Wafer cassette holder, 8" (8) MO Wafer holders, 8" Manual gate valve (VAT) (Between loadlock & intermediate chamber) HPS Series 421 cold cathode gauge & controller (Wide range) Cryopump UHV, 6" Gate valve: Cryopump, 4 1/2" (Pneumatic) (3) Sorption pumps with plastic dawars, heaters & manual valves PIBA Venturi pump with manual valve GP Model 275 convectron gauge with digital controller Vacuum plumbing for roughing Intermediate chamber: (2) Transfer rods: Growth chamber & outgas station Cassette storage elevator (Manual) Ion pump 400 1/8 with PERKIN ELMER 1500 digital controller Sublimator & controller (TSP) Gate valve: Ion pump, 8" (Pneumatic) GP Model 307 extended (3) gauge controllers with ionization gauge 10" Gate valve (Manual) between intermediate chamber & outgas station Rough plumbing with GP 204 gold seal valve (2) Viewports for docking Outgas station: Water cooled chamber with expansion port Viewport with shutter Stage Heater 1100° C with TC Heater power supply: 1000 W Dimension control loop Ion gauge Cryopump, 8" UHV Gate valve,10" (Pneumatic) for cryopump Rough plumbing with GP gold seal valve for chamber Rough plumbing with GP gold seal valve for cryopump Growth chamber: Dia chamber, 24" with water cooling Sample manipulator with Z-motion & 60 RPM rotation Passivated graphite heater, 4": 1100°C Heater power supply: 1000 W (7) Dimension control loops Ion pump 400 1/8 with PERKIN ELMER 1500 digital controller Sublimator & controller: Ion pump (TSP) VAT Valve, 8" (pneumatic): Ion pump Cryropump, 8" UHV Cryropump compressor run (3) UHV pumps, 8" Gate valve, 10" (pneumatic) for Cryropump GP Model 307 Ion gauge controller & gauge (2) Thermionics 156 cc single pocket E-gun with pneumatic activated soft shutter & water shroud L-H 4x7cc Pocket E-gun with pneumatic activated soft shutter & water shroud 15 kW E-beam power supply with (3) sweeps (4) Standard 20cc (K-Cells) effusion cells (2) High temperature 10cc (K-Cells) effusion cells (4) Power supplies 1000 W for Std K-cells (2) Power supplies 1600 W for high temperature K-cells (6) Water cooled effusion cell shrouds with pneumatic activated soft shutters (10) Loop dimension multi-loop controllers with relay & CPU interface SVT Shutter controller (2) Sentinel III flux sensors & X'tal sensor with additional beam splitter Sentinel III deposition controller RHEED System with power supply, shutter, screen, lead window, & controller Option: VIEETECH 30 key / KIMBALL PHYSICS 20 kev RGA UTI-l00C System with TEKTRONIX 5111A scope & 5A 15N & 5B1 on plugins Movable ion gauge: Flux control Master shutter (Pneumatic) Rough plumbing & gold seal valves: Cryropump Bakeout heaters, timer, fans & soft blanket Viewports & shutters required: Docking & E-guns (Reference port schedule) (2) Implanter port soft shutters System upgrade chambers, 8" / Manipulator, stages & valves (6) PBN STD Crucibles (2) Hi-temp crucibles CPU 386/20 MHz IBM Compatible with hardware Water distribution panel System console Rough plumbing with GP gold seal valve for main chamber Gate valve, 10" (Manual) isolate growth chamber from intermediate chamber.
SVTA/SVT ASSOCIATES 440 S1 MBE (molecular beam epitaxy) 장비는 매우 정확한 나노 스케일 제어로 복잡한 초박막 제작을위한 고급 증착 플랫폼입니다. 이 플랫폼은 특정 응용 프로그램에 적합하도록 고도로 집중되고 조정 가능한 원소 (elemental 또는 compound source) 의 빔을 사용하여 박막 증착을 위한 최고의 유연성을 제공합니다. 이 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 시스템은 고급 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 기반으로하며, 이를 통해 고급 박막 증착 과정을위한 최첨단 epitaxy 도구입니다. The440 S1은 고급 마그네트론 스퍼터링 기술 (magnetron sputtering technology) 및 관련 소스 제어 장치를 사용하여 최고의 필름 품질 및 성장 역학을 달성합니다. 이 "소오스 '는 고도 의 균일성 을 달성 하기 위하여 설계 되고 동력 을 공급 하고 있으며," 필름' 의 성질 을 향상 시키기 위하여 "가스 '를 불활성 혹은 반응성 으로 계속 변조 할 수 있다. MBE (Film Thickness) 는 필름 두께를 정확하게 제어하고 웨이퍼 전체에 걸쳐 두께 프로파일을 제어하며, 반도체 제조 공정에서 크리티컬 레이어를 증착하기위한 고유한 균질한 플랫폼을 제공합니다. 440 S1에는 광학 현미경, 실시간 두께 분광법, RHEED (Reflech Electron Energy Loss Spectroscopy) 및 반사 이미징과 같은 에피 택시 및 특성화를위한 강력한 액세서리 세트가 포함되어 있습니다. 필름 구조 및 표면 형태. 또한 최적의 균일성, 결정성 및 접착력을 보장하기 위해 레이어를 활성화하기위한 고온 Annealing 모듈이 있습니다. 또한, 440 S1은 재료 간 전환을 위한 빠르고 안정적인 머신을 갖추고 있으며, 특정 어플리케이션에 대해 여러 레이어를 만들고 최적화할 수 있는 유연성을 제공합니다. 440 S1은 또한 반응 동역학을 개선하고 균일 성을 향상시키는 고효율 가스 제어 도구를 가지고 있습니다. 소스와 통합된 정교한 가스 흐름 에셋 (gas flow asset) 은 반응성 요소의 증착을 가능하게하며, 배기 모델 (exhaust model) 은 초저압 수준을 유지하여 최적의 소스 성능을 보장합니다. 또한 간단하고 직관적인 휴먼 머신 인터페이스 (human-machine interface) 를 통해 매개변수와 프로세스 제어에 쉽게 액세스할 수 있습니다. SVTA 440 S1 MBE (Advanced of Structure and Operation) 는 반도체 업계에서 가장 높은 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 매우 안정적이며 태양 전지, LED, 반도체, 기타 여러 가지와 같은 광범위한 응용 분야에서 대용량 생산에 적합합니다.
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