판매용 중고 METRICON PC 2010 #9084282

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METRICON PC 2010
판매
ID: 9084282
Prism Coupler Dual Laser Film Measurement System Updated software Dual Wavelength: 633nm and 1551nm Unparalleled accuracy in measurement of thin film thickness and refractive index Bulk refractive index and thin film/bulk birefringence Includes PC and new software.
METRICON PC 2010은 사진 촬영 마스킹 및 웨이퍼 제작에 사용하기위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 반사율 프로파일 (광 반사율 400 ~ 750 nm) 을 기반으로 포토 마스크 (photomask) 및 웨이퍼 (wafer) 의 품질을 검사하고 각 샘플에 대한 전체 가시적 스펙트럼에서 대표 반사율 프로파일이 있는 보고서를 제공합니다. 이 장치는 포토 마스크 (photomask) 의 재료 결함을 감지하고 모든 크기의 웨이퍼에 대한 검사 보고서를 생성하도록 설계되었습니다. 고급 광학 판독기와 트라이 스택 (Tri Stack) 기반 조명을 사용하여 최대 200mm까지 검사 할 수있는 맞춤형 100x 강하 및 이미징 플랫폼이 특징입니다. 이 도구는 웨이퍼 스테이지, 광학 헤드 및 METRICON Image Analysis Software 패키지를 실행하는 컴퓨터 자산으로 구성됩니다. 광학 헤드에는 100 배의 오브젝티브 렌즈와 녹색, 빨간색, IR LED를 포함한 여러 광원으로 구성된 백라이트 스캐너가 있습니다. 오브젝티브 렌즈는 XY 변환 스테이지와 X축 회전 스테이지와 함께 Y 테이블에 마운트됩니다. 이렇게 하면 샘플을 통해 광원을 스캔할 수 있고, 웨이퍼 (wafer) 스테이지에서 샘플을 수정합니다. 웨이퍼 스테이지는 2 개의 조절 가능한 기울기 및 회전 스테이지, 고정 척 (fixation chuck) 및 진공 픽업 홀더로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지에는 기계적 및 전자기 스테이지 교정 모델도 있습니다. METRICON Image Analysis Software는 강력한 이미지 분석 및 비교 소프트웨어 패키지입니다. 각 샘플에 대해 개별 반사 프로파일 (reflectance profile) 을 제공하는 자동 글로벌 그래프 (automatic global graphing) 기술을 통해 샘플의 밝기와 어두운 레벨을 정확하게 비교할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어에는 결함 매핑 (Fleect Mapping) 애플리케이션이 포함되어 있는데, 이 응용 프로그램에서는 사용자가 해당 샘플의 피쳐를 가시적 (visible) 범위와 보이지 않는 (invisible) 범위 모두에서 매핑할 수 있습니다. 또한 전체 서피스에서 웨이퍼 두께를 자동으로 측정하고 공간 (spatial) 및 시간 (time) 기반 오류를 구분할 수 있습니다. 전반적으로 METRICON PC 2010Mask & Wafer Inspection Equipment는 사용자가 마스크 품질을 검사하고 웨이퍼 검사 보고서를 빠르고 정확하게 생성 할 수있는 고급 시스템입니다. 스캐닝 (scanning) 및 이미징 (imaging) 기능 덕분에 샘플의 밝은 영역과 어두운 영역을 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 내장 이미지 분석 소프트웨어를 통해 여러 샘플을 쉽게 비교하고 표면 결함을 매핑할 수 있습니다. 따라서, 이 단위는 포토리토그래피 산업의 품질 보증 (quality assurance) 및 생산 프로세스를위한 귀중한 도구입니다.
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