판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #64588

KLA/TENCOR Archer AIM은 빠르고, 안정적이며, 고성능 마스크 검사를 가능하게 하는 자동화된 직관적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 빠르고 효율적인 도구로 설계되었으며, 결함을 찾아내어 해결한 후 '위험' (critical) 과 '비용' (exposy) 을 높일 수 있습니다. 더 높은 해상도와 더 적은 결함으로 향상된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 석판 (웨이퍼) 결함뿐만 아니라 포토 마스크 (photomask) 의 결함을 감지하고 수정 할 수 있습니다. 즉, 사용자 친화적으로 설계되어 비전문가가 자동화된 일상적인 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있게 해 주며, 발견 시 신속하게 '결함' 을 감지하고 '문제' 를 해결할 수 있게 해 줍니다. 이 기계는 결함 이미징, 서명 분석, 분류 및 정량화, 결함 분류 분석, 패턴 인식 등 다양한 자동 마스크 검사 기능을 갖추고 있습니다. 또한 최신 슬릿 스캐닝 이미징 및 정렬 (photomask 및 lithographic 수준 모두에서 결함을 캡처 할 수 있음) 을 포함합니다. 이 도구는 양수 (positive) 및 음수 (negative) photomask 레이아웃을 검사하도록 설계되었으며 1x nm ~ 5xnm 해상도의 오류를 찾아서 수정할 수 있습니다. 또한 입자, 불투명 한 이물질, 먼지, 핀홀, 패턴 결함, 정렬 불량 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 자산은 두 가지 중간 결함 (예: 현장과 큰 결함, 그렇지 않으면 보이지 않는 패턴 불완전성 범위) 을 모두 감지, 수정 할 수 있습니다. 이 모델에는 유연한 이미징 도구 (Flexible Imaging Tools) 가 장착되어 있어 각 마스크 레이어를 사용 가능한 최고 해상도로 볼 수 있습니다. 또한 필요에 따라 밀집된 (Densely Packed) 영역과 간격 (Spaced) 영역 간에 초점을 이동하고 확대/축소 (Zoom) 기능을 통해 사용자가 영향을 받는 영역을 자세히 살펴볼 수 있습니다. 이 장비는 내재된 장애 관리 (Fault Management) 및 로깅 (Logging) 기능을 제공하여 사용자가 자동으로 검사한 결과의 수정 조치 및 데이터를 빠르고 쉽게 검토할 수 있습니다. 이 시스템은 현장의 새로운 결함 정보에 대한 빠른 업데이트 (Fast Update) 를 제공하고, 추가 분석을 위해 보고서를 생성할 수도 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 교육, 소프트웨어 업데이트, 시스템 유지 보수 등 포괄적인 서비스를 통해 결함을 감지하고 해결하는 데 가장 경제적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 이 기계는 또한 확장성이 뛰어나며, 필요할 때 쉽게 업그레이드할 수 있습니다.