판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9379085

KLA/TENCOR Archer 10 XT는 가장 까다로운 반도체 생산 프로세스의 고급 석판화 요구를 충족시키기 위해 설계된 고성능, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 이미징 (Optical Imaging) 과 검사 장치 (Inspection Unit) 를 갖추고 있으며, 고해상도 이미징 세부 정보와 웨이퍼 및 마스크의 패턴 및 결함에 대한 정확한 분석을 제공합니다. 이 기계에는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 이미지를 모두 캡처하는 내장형 컬러 이미지 처리 카메라가 포함되어 있어 결함을 정확하게 감지할 수 있습니다. KLA ARCHER10XT에는 또한 이중 에너지 현미경 및 다양한 자동 결함 분류 도구 (automated defect classification tools) 를 포함한 여러 통합 도량형 도구가 있습니다. 이러한 도구는 선과 공백, 측면 (sidewall) 각도, 격리 등의 중요한 피쳐를 검사할 수 있는 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 이 도구에는 과잉 기도, 입자 증착, 포토 esist 잔기 등 오류 맵 분석을위한 정확한 측정 기능도 있습니다. 또한 고급 자동화 기능을 통해 프로세스 엔지니어가 사용자의 개입을 최소화하면서 자동화된 맞춤형 검사 루틴을 프로그래밍할 수 있습니다 (영문). 또한, TENCOR ARCHER 10XT에는 정확한 웨이퍼 방향을위한 자동 정렬 에셋 (auto alignment asset) 과 마스크 결함 감지를 개선하기위한 복합 산란 측량/환형 다크 필드 모델 (combination scatterometry/annular dark field model) 이 포함 된 다양한 옵션 기능이 있습니다. 3 개의 독립적 인 측정 축 (axes) 을 중심으로 구축되어 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공하는 강력한 도량형 (metrology architecture) 이 있습니다. 또한 간편한 탐색을 위해 사용자에게 친숙한 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. TENCOR ARCHER10XT (TENCOR ARCHER10XT) 는 테스트되고 테스트된 KLA 이미징 및 검사 기술과 다양한 고성능 머신 기능을 결합하여, 마스크 및 웨이퍼 프로세스 제어를 위한 안정적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 즉, 처리 속도가 높아 주기 시간을 줄이고 생산성을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 KLA Archer 10 XT는 반도체 생산 프로세스에 이상적인 도구입니다.