판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276005
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판매
ID: 9276005
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort load port, P/N: 9700-9129-01 Rev K
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Handler
Pneumatic box
Z-Stage
Optic
Computer
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Keyboard
Mouse
Missing parts:
I/O Interface board
Floatation controller
Motion controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT는 온칩 결함 검사의 향상된 성능을 제공하기 위해 개발 된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA ARCHER10XT는 더 높은 처리 속도와 결함 검사를 위한 향상된 감도를 제공하도록 설계되었습니다. TENCOR ARCHER 10XT는 전계 효과 트랜지스터 스캐너 (FETS) 를 사용하여 나노미터 크기의 결함에 민감도를 설정하고, 서브 미크론 해상도의 디지털 이미지를 얻습니다. 고급 고속 스캐너 (High Speed Scanner) 및 이미징 기술 모듈을 장착하여 시간당 최대 20 웨이퍼 (Wafer) 까지 처리율을 높이면서 웨이퍼를 지속적으로 이미징할 수 있습니다. KLA Archer 10 XT는 반도체 웨이퍼를 자동으로 인식 할 수있는 고급 마스크 패턴 인식 기능을 제공합니다. 고급 정렬 (Advanced Alignment) 기술을 통해 마스크 패턴과 웨이퍼 이미지를 정확하게 정렬하여 결함을 정확하게 파악할 수 있습니다. 이 시스템은 고성능 CCD 어레이 (CCD Array) 와 고급 옵틱 (Optic) 을 사용하여 이미지 입수를 향상시키고 결함 감지 정확도를 향상시킵니다. 이 장치에는 사전 정의된 기준에 따라 결함을 감지하고 분류하도록 설계된 정교한 이미지 처리 장치 (Designated Image Processing Machine) 도 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 업계 지침에 따라 결함 감지 및 분류를 개선할 수 있습니다. 고급 신호 처리 (Advanced Signal Processing) 기술은 결함 유형을 특성화하고 작업에 적합한 응답을 결정하는 데 사용됩니다. TENCOR ARCHER10XT는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며, Fab 제어 소프트웨어와 같은 컴퓨터 지원 도구와 완벽하게 호환됩니다. 또한, 이 툴을 상위/업스트림 (up-stream) 시스템과 통합하여 원활하고 자동화된 데이터 수집 및 분석을 수행할 수 있습니다. 이 자산은 또한 검사 작업을 중앙 집중식으로 관리하고, 고급 보고 (Reporting) 및 데이터 관리 기능을 위한 데이터 로깅 (Data Logging) 을 지원합니다. ARCHER 10XT는 기존의 검사 시스템에 비해 뛰어난 해상도, 빠른 처리량 및 향상된 감도를 제공합니다. 이 모델은 고성능, 정확한 장애 탐지가 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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