판매용 중고 KLA / TENCOR 2438 Viper #9399303

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ID: 9399303
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Macro defect inspection system, 12" Review module (3) Load ports Wafer transfer robot 2008 vintage.
KLA/TENCOR 2438 Viper Mask and Wafer Inspection Equipment는 마이크로 전자 산업의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 비전 기반 검사 시스템입니다. KLA 2438 바이퍼 (Viper) 는 탁월한 검사 정확도와 높은 처리율을 제공하여 가장 향상된 프로세스 제어 및 신뢰성 요구 사항을 충족합니다. TENCOR 2438 Viper 장치의 주요 구성 요소에는 고해상도 디지털 카메라, 고정밀 로봇 스테이지, ImageTool 소프트웨어 및 제어 하드웨어가 포함됩니다. 카메라의 5 메가 픽셀 CMOS 센서는 2.6 µm의 픽셀 크기로 마스크와 웨이퍼의 고해상도 이미지를 수집합니다. 로봇 단계는 검사 영역 전체에서 샘플 기판을 정확하게 이동할 수 있으며, 자동 교정 (automated calibration) 을 활용하여 정확성과 반복성을 보장합니다. 고급 ImageTool 소프트웨어 (Advanced ImageTool Software) 는 자동 검사 및 측정 알고리즘으로, 결함, 마모 및 기타 기능의 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 평가하도록 설계되어 수율 손실과 불균일성을 유발합니다. 이 소프트웨어에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스, 신속하고 반복 가능한 검사를 위한 맞춤형 런타임 프로파일 (Runtime Profile), 다운스트림 분석/검토 도구와의 통합 등이 있습니다. 2438 Viper 시스템의 제어 하드웨어에는 직관적인 사용자 인터페이스, 동작/코딩 제어, 도구 안전 관리, 통합 로컬/원격 진단 기능이 포함되어 있습니다. 소프트웨어의 경고 (alarm) 및 보고 (reporting) 기능은 사용자에게 이상과 자산 성능에 대한 심층적인 분석을 허용하도록 경고합니다. KLA/TENCOR 2438 Viper Mask 및 Wafer Inspection Model은 웨이퍼 수율, 결함 및 프로세스 성능에 대한 신뢰할 수 있고 기계적으로 생성된 정보를 제공합니다. 자동화된 기능은 수동 운영자의 개입을 줄이고, 신속하고, 반복 가능한 검사 성능을 보장하며, 고해상도 이미징 및 분석 기능을 통해 프로세스 제어를 향상시키고, 수익률을 높일 수 있도록 철저한 분석 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 피드백을 제공합니다.
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