판매용 중고 DCG SYSTEMS / CREDENCE EmiScope III #9117179
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판매
ID: 9117179
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Time-resolved photon emission system, 8"
ATE Direct dock capability
IR Imaging with high speed, high resolution InGaAs camera
Standard IR photon counting detector/DAQ electronics jitter (FWHM): 75ps, noise rate: < 15kHz
High accuracy apertures for spatial isolation of transistors
System/SW Control
PC Based System Control, Windows XP OS
Newport XYZ Stages
OUT Air Cooling
Fluid spray cooling compatible factory or field upgrade option
Laser scanning microscope compatible factory or field upgrade option
Standard system power: 120 VAC, 60Hz, 15A
2007 vintage.
DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III는 고급 반도체 마스크 및 웨이퍼 결함 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조 공정 및 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에 사용되는 포토 마스크 (photomask) 의 결함을 발견하도록 설계되었습니다. 이 제품은 혁신적인 기술을 사용하여 가장 복잡한 반도체 마스크 설계에 대한 빠른 스캔 속도 (fast scan rate) 로 고해상도 검사를 수행합니다. CREDENCE EmiScope III 장치는 렌즈 기술 및 광학 이미징 시스템의 최신 개발을 활용하여 마스크 및 웨이퍼 결함 감지 (wafer defect detection) 의 뛰어난 이미지 선명도와 정확성을 제공합니다. 고해상도 마스크 및 웨이퍼 결함 검출 (Wafer Defect Detection) 을 위한 상세한 광역 커버리지를 제공하는 초대형 시야를 갖춘 고성능 디지털 라인 스캔 (Digital Line Scan) 카메라가 특징입니다. 이 기계는 또한 5도 유연한 틸트 플랫폼, 높은 줌 범위 및 마이크로 검사 응용 프로그램을위한 Servo Motor 컨트롤을 포함합니다. DCG SYSTEMS EmiScope III 는 단시간 내에 자동으로 결함을 감지하여 수작업 검사를 수행할 필요가 없습니다. 이 도구는 KLA의 고급 결함 감지 알고리즘을 갖추고 있으며, 마스크 패턴, 테스트 구조 및 표면 실장 (surface mount) 구성 요소의 빠르고 정확한 분류를 제공합니다. 그 결과 '포괄적인 요약 보고서 (summary report)' 형태로 생성되며, 사용자가 손쉽게 결함을 파악하고 측정할 수 있습니다. 또한, EmiScope III 에셋의 대화형 소프트웨어 제품군을 사용하면 검사 매개변수를 신속하게 수정하고 결함 결과를 실시간으로 볼 수 있습니다. 이미지 품질을 극대화하기 위해 정렬 및 초점 작업을 용이하게 합니다. 이 모델은 또한 자동화된 셔터 제어를 제공하여 원치 않는 노출 및 전자기 간섭 (EMI) 감수성을 줄입니다. DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III는 마스크 및 웨이퍼 결함 검사에서 뛰어난 성능과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 다양한 반도체 마스크 설계 및 복잡한 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에서 빠른 결함 검색을 제공합니다. 첨단 광학 이미징 기술 (Optical Imaging Technology) 과 결함 탐지 알고리즘 (Defect Detection Algorithm) 은 프로세스 개선 및 품질 보장에 이상적인 선택입니다.
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