판매용 중고 CARL ZEISS AIMS 248 / MSM 100 #9275806

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ID: 9275806
System PHOTOMETRICS Quantix Camera included.
CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100은 마스크 및 웨이퍼 표면의 고정밀 자동 현미경 영상을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼 이미지를 높은 정확도로 얻을 수 있으며, AST (Adaptive Scanning Technology) 및 AOI (Area of Interest) 와 같은 고급 이미지 처리 기능을 제공하여 반복 가능하고 안정적인 이미지 품질을 보장합니다. AIMS 248/MSM 100은 넓은 시야각, 낮은 조명 수준 조건, 원격 중심 렌즈 및 100x 목적 렌즈를 포함하는 광학 구성 요소 배열로 작동합니다. 이는 반도체 표면의 빠르고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 이미징에 필요한 해상도를 제공합니다. 또한, 이 장치에는 컬러 인코더, 이미지 스티칭, 픽셀 레벨 패턴 인식, 자동 자르고 필터링된 보기 (automated croped and filtered viewing) 등 정확성을 보장하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 따라서 처리 제어 (process control), 문제 해결 (troubleshooting) 과 같은 까다로운 애플리케이션에 탁월한 이미지 선명도와 정확성을 제공합니다. CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100은 통합 웨이퍼 매핑 기능을 통해 마스크 또는 웨이퍼에서 잘못된 영역을 정확하게 선택할 수 있으며, 검사 영역을 효율적으로 선택할 수 있습니다. 또한, 고정밀 자동 초점 현미경 획득 기계는 고해상도 디지털 이미지와 마스크 또는 웨이퍼 표면의 전면 조명 (front-lit) 접촉 이미지를 자동으로 수집합니다. 게다가, 그 알고리즘은 단순한 결함에서 정밀도가 높은 복잡한 패턴 또는 구조에 이르기까지 거의 모든 패턴 오류를 감지 할 수 있습니다. 이것은 매우 복잡한 디자인을 검사하는 데 이상적입니다. 또한이 도구는 X-ray, FTIR, SEM, UV, 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 및 원자력 현미경 (AFM) 과 같은 다른 일반적인 영상 도구와 작동하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 각 기술로부터 얻은 데이터를 비교하여 마스크/웨이퍼 서피스 (mask/wafer surface) 를 보다 포괄적으로 볼 수 있습니다. 마지막으로, 자산은 완전히 자동화되어 검사, 측정 및 분석 과정에서 자동화된 작동을 제공합니다. 이를 통해 사람의 오류 가능성이 없어지고, 마스크/웨이퍼를 신속하게 검증하고 분석할 수 있습니다. 요약하면, AIMS 248/MSM 100은 마스크 및 웨이퍼 표면의 고정밀 이미징을 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비에는 색상 인코더, 픽셀 레벨 패턴 인식, 자동 자르기/필터링 보기, 통합 웨이퍼 매핑 기능 등 정확성을 보장하는 다양한 기능이 있습니다. 또한, 다른 이미징 기술 (Imaging Technologies) 과 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 해당 표면에 대한 보다 포괄적인 뷰를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, 자동화된 작동은 일관되고 안정적인 결과를 보장하는 한편, 사람의 실수 가능성을 제거합니다.
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