판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9082394

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ID: 9082394
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4" 6" Capable (With kit) Topside alignment / Exposure only With 1000W lamp Split field microscope Power supply: 350 / 500 / 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 고성능 최상위 마스크 정렬기입니다. 모듈식 설계, 자동 프로그래밍 및 정렬, 인상적인 광학, 탐지 시스템, 엔지니어링 등급 구성 요소 등이 있습니다. MICROTEC MA6은 광, 접촉, 나노 및 에치 정렬을 포함한 많은 정렬 유형을 제공합니다. KARL SUSS MA-6의 정렬 정확도는 매우 정확하며, 등록은 3 마이크로 미터 이내입니다. 이를 통해 다양한 어플리케이션에 대한 추가 미세 기어 (Fine Gear) 패턴, 선 너비 및 패턴 정렬 요구 사항을 사용할 수 있습니다. MICROTEC MA 6에는 10X 객관적 줌 렌즈 및 4X 객관적 줌 렌즈와 같은 다양한 옵틱이 장착되어 있습니다. 또한 "웨이퍼 '에서 광학 까지의 작업 거리 도 조정 할 수 있어서" 콘택트' 를 조정 할 수 있다. 광학 현미경으로, 높이 또는 직경 30 미크론 정도의 작은 기능을 복제 할 수 있습니다. MICROTEC MA-6은 또한 정확한 패턴 정렬을 보장하는 여러 감지 시스템을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 적외선 카메라는 최대 6 미크론 해상도의 마이크로 감지 및 울트라 민감성 정렬에 LED 표시등을 사용합니다. 가장 정밀도를 보장하기 위해 KARL SUSS MA 6은 엔지니어링 등급 구성 요소를 사용합니다. 200 와트 조명기로 구동되며 스테퍼 모터는 최대 20mm/sec의 속도를 낼 수 있습니다. 자동화된 프로그래밍, 스테레오 현미경, 추가 스테이징 시스템과 함께 초정밀 패턴 정렬을 확인할 수 있습니다. MA 6 마스크 정렬기는 3 마이크로미터 이내의 정확도와 함께 다양한 정렬 유형을 수행 할 수 있습니다. 모듈식 디자인과 정교한 광학 장치, 탐지 시스템, 엔지니어링 등급 구성요소 (engineering-grade component) 를 갖춘 초소형 기어 패턴화 및 패턴 정렬 솔루션에 탁월한 정밀도를 제공합니다.
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