판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9165257

EVG/EV GROUP 620 마스크 정렬기는 중요한 반도체 구성 처리를 위해 고정밀 마스크를 생성하는 데 사용되는 강력한 도구입니다. EVG 620은 정밀 5 축 단계, 고급 선형 모터 및 하이브리드 공기/수냉식 장비를 사용하여 직경 300mm까지의 기판의 안정적이고 정확한 정렬 및 처리를 용이하게합니다. EV GROUP 620 집적 회로 (IC) 다이 결합 정렬 시스템은 고정밀도, 비용 효율 및 반복 가능한 리소그래피 결과를 보장합니다. 10mm Z-wobble로 유연한 배치 및 카운트를 가능하게 하여 IC 다이 크기를 완벽하게 정렬할 수 있습니다. 또한, 동작 제어 장치 (motion control unit) 는 10 미크론의 정확도로 고속, 정밀한 웨이퍼 및 기판 정렬을 위해 탁월한 중간 편향 성능을 보장합니다. 광학 확대/축소 및 내부 필터가 있는 2개의 고해상도 카메라는 고정밀 웨이퍼 정렬 검사에 사용됩니다. 카메라의 전체 줌은 12 배 또는 8 배이며, 패턴화되지 않은 기판과 패턴 화 된 기판 모두에 대해 최소 기능 크기 탐지는 30 미크론입니다. 620 은 모든 운영 매개변수를 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있는, 프로그래밍 가능한 메뉴 방식의 웨이퍼 정렬 머신을 갖추고 있습니다. 또한 자동 보정 기능 (auto-calibration feature) 을 사용하여 마스크 정렬 프로세스 중에 기판에서 치수 변경을 쉽게 추적할 수 있습니다. 이 도구는 양수 (positive) 및 음수 (negative) 이미지 정렬을 모두 지원하며 빠른 자동 초점 기능을 제공합니다. 광선이 균일한 조정 가능한 조명 모듈은 어두운/밝은 점을 제거하고 가장 쉽고 효과적인 정렬을 위해 최소 0.05 ° 기울기 (tilt) 오류를 확인합니다. EVG/EV GROUP 620 마스크 정렬기는 높은 정밀도와 반복성이 필요한 반도체 제작 프로세스에 필수적인 도구입니다. 강력한 모션 컨트롤 에셋, 고급 이미징 기술, 프로그래밍 가능한 정렬 매개변수는 대규모 기판을 처리 할 때 탁월한 정확도를 보장합니다.