판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9407646

CANON PLA 600 FA는 반도체 제조 및 기타 관련 산업에 사용되는 최고급 마스크 정렬 자입니다. 광학 정렬의 도움으로, 최대 1 초의 정확도를 달성 할 수 있습니다. 즉, 매우 정확해야 할 프로젝트에 이상적입니다. 자동 사진 정렬 시스템은 센서 헤드, 정렬 단계, 제어 보드로 구성됩니다. 센서 헤드 (sensor head) 는 기판에서 이미지를 처리하여 제어 보드로 보냅니다. 제어판 (control board) 은 정렬 단계의 위치를 계산하고 조정하는 역할을 하며, 따라서 포토 마스크 (photomask) 가 기판에 완벽하게 정렬됩니다. 또한, 이미징 시스템은 고속 12 메가 픽셀 CCD 카메라로 구성되며, 이는 높은 정확도와 반복 속도를 허용하는 디지털 이미지 운동학적 보상 알고리즘과 함께 작동합니다. 이렇게 하면 다른 기판 크기로 작업하는 경우에도 프로세스의 정확도를 높일 수 있습니다 (예: "% 1" 참조). 또한, 스핀들 기울기 (spindle tilt) 와 기판 기울기 (기판 기울기) 를 조정하여 포토 마스크 (photomask) 를 기판에 맞게 조정할 수도 있습니다. 직관적인 제어 소프트웨어에 의해 CANON PLA-600FA (CANON PLA-600FA) 가 추가로 지원되므로 사용자가 포토마스크를 지정된 위치로 편안하고 정확하게 이동할 수 있습니다. 또한 무제한 패턴 인식 영역 (pattern recognition area) 이 포함되어 있어 단일 사진 마스크에서 모든 패턴을 인식 할 수 있습니다. 이 외에도 최대 0.2 도 (m) 의 패턴 정밀도 (pattern matching accuracy) 를 가지며, 상세한 전자 문서 시스템을 통해 데이터를 손쉽게 아카이빙하여 향후 참조할 수 있습니다. 사용자에게 최고의 경험을 제공하기 위해 PLA 600FA에는 기판 유출 및 보호를 위한 초고진공 펌프 (ultra-high vacuum pump), 보안을 위한 오염 준수 케이블, 사전 정렬 및 마스크 청소 기능 등 추가 기능도 제공됩니다. 이 모든 것 이 결합 되어 강력 한 "마스크 '" 타이너' 가 되며, 그것 은 광범위 한 생산 요구 조건 에 대한 정확성 을 제공 한다.