판매용 중고 CYMER ELS 5410 #9205172

CYMER ELS 5410은 DUV (Deep 자외선) 리소그래피 및 반도체 처리에 사용되는 1,064 nm의 파장을 가진 레이저입니다. 반도체 제조 공정 및 기타 관련 어플리케이션을 위해 설계된 엑시머 레이저입니다. 이 "레이저 '는 반도체 제조 제조 공정 에서 산업 용도 로 설계 된 고도 의" 레이저' 이며, 긴 수명 과 지속적 인 "펄스 '성능 으로 말미암아 오늘날 의" 반도체' 산업 에 가치 있는 도구 가 되고 있다. CYMER ELS-5410은 거의 회절 제한 빔에서 최대 8mJ의 높은 펄스 에너지, 최대 800MW의 최고 전력을 제공합니다. 6ns의 펄스 길이는 유전체 필름 패턴, 폴리 실리콘 에칭, MEMS 절단 및 집적 회로의 리소그래피 (lithography) 를 포함한 여러 응용 영역에 적합합니다. 레이저는 펄스 간 지터 (inter-pulse jitter) 가 낮고 펄스 반복 속도가 낮은 경우 최대 500Hz의 반복 속도로 작동합니다. ELS 5410은 높은 신뢰성과 15,000 시간 이상의 수명을 가지고 있습니다. 즉, 장치를 지속적으로 유지 관리하고 모니터링하지 않고도 더 높은 전력 출력을 제공할 수 있습니다. "레이저 '의 유리" 바디' 는 열 을 보호 해 주며 "레이저 '와 접촉 하는 사람 들 의 안전 을 보장 할 수 있다. 레이저가 효율적이고 정확하게 작동하도록 하기 위해, 레이저 제어 장치를 포함하는 ELS-5410의 닫힌 루프 (closed-loop) 시스템을 완전히 조정할 수 있습니다. 제어 장치는 반도체 프로세싱에서 여러 응용 프로그램에 사용하기 위해 펄스 너비, 펄스 에너지, 튜닝 및 트리거링 (triggering) 과 같은 여러 매개변수에서 조정할 수 있습니다. CYMER ELS 5410은 반도체 제작에 사용되는 매우 유연하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 정밀한 빔, 높은 에너지, 펄스 길이 (pulse length) 는 다양한 응용을위한 효율적인 도구입니다. 이 장치는 작동이 안정적이며, 루프 (closed-loop) 시스템뿐만 아니라 열 보호 (thermal protection) 기능을 통해 작동이 안전하고 사용자 친화적입니다.