판매용 중고 CYMER ELS 5400 #9104555

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제조사
CYMER
모델
ELS 5400
ID: 9104555
빈티지: 1997
Laser Key parts has been replaced 1997 vintage.
CYMER ELS 5400은 고성능 엑시머 레이저입니다. 이 산업 등급 레이저 (industrial-grade laser) 는 광범위한 재료를 균일하고 반복 할 수있는 기능을 제공하여 거의 모든 생산 라인에 적합합니다. CYMER ELS-5400 (CYMER ELS-5400) 은 다양한 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었으며, 시간당 최대 1,000 개의 웨이퍼 속도로 기판을 처리 할 수 있습니다. 유연한 설계를 통해 사용자는 다양한 초점 깊이 (focus depth) 와 펄스 에너지 (pulse energy) 를 선택하여 생산 요구 사항에 맞게 선택할 수 있습니다. ELS 5400은 최대 펄스 에너지 (10J) 를 가진 고에너지, 균질 라인 빔을 생산할 수 있습니다. "레이저 '는 전체 기판 에 걸쳐" 빔' 의 균일 함 을 보장 하기 위하여 빔 '배달 광학 을 갖추고 있다. 이 균일 성은 집적 회로 생산에서 정확한 포토 리토 그래피 프로세스를 허용합니다. 또한 ELS-5400의 라인 너비를 0.3음 (um) 에서 20음 (um) 으로 조정하여 사용자가 원하는 영역을 정확하게 덮을 수 있습니다. CYMER ELS 5400에는 두 가지 사용자 친화적 인 제어 시스템 (그래픽 소프트웨어 프로그램 및 터치 스크린 디스플레이) 이 있습니다. 소프트웨어 프로그램을 사용하면 특정 프로세스에 대한 레이저 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 이러한 최적화를 통해 제조업체는 에너지 소비를 최소화할 수 있습니다. 터치스크린 디스플레이는 사용자 정의 가능한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 매개변수 설정을 쉽게 액세스할 수 있도록 합니다. CYMER ELS-5400은 비용 효율적이고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 고효율 레이저 다이오드는 최대 100,000 시간의 매우 긴 수명을 제공합니다. 이 설계는 저전력 소모량 (low power consumption) 과 연계되어 사용자는 에너지 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 자체 진단 시스템 (self-diagnostics system) 으로 설계되어 최적의 성능과 최대 가동 시간을 보장하기 위해 장치의 작동 상태를 모니터링합니다. 전반적 으로, ELS 5400 은 오늘날 의 제조 경기장 의 필요 를 충족 시키도록 설계 된 강력 한 "레이저 '기계 이다. 에너지 절약 (energy-saving) 기능과 긴 운영 수명을 결합한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스로, ELS-5400 은 다양한 산업 프로세스를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
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