판매용 중고 CANON EX4 #9242644

CANON EX4 Wafer Stepper는 다양한 생산 요구를 처리하도록 설계된 고성능 웨이퍼 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 레벨 패키징 및 기타 photolithography 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 제품은 고정밀 XY 포지셔닝 단계, 노출 장치, 처리량 제어 장치 등을 포함하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. EX4의 XY 위치 단계 (positioning stage) 는 높은 분해능이 0.2 -m, 반복 가능성이 0.1 -m이며, 리소그래피 요소의 배치에서 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. 무대는 2 단계 머신으로 구성되며, 거친 움직임을위한 낮은 수준의 스테이지와 미세 조정을위한 높은 수준의 스테이지가 있습니다. 모션 제어 기술은 회사의 독점 Servo4 Motion Control Module을 기반으로합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 스캔 경로 전체에서 부드럽고 정확한 동작 제어가 가능합니다. CANON EX4의 노출 도구는 모터 구동 미러 스캐너, 30kHz 고속 스캐닝 및 고출력 IR 레이저로 구성됩니다. 또한 2축 동기식 스캐닝 (synchronous scanning) 모드를 통해 빔 스팟 크기와 균일성을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 에셋에는 적절한 웨이퍼 노출을 보장하는 광학 공중 이미지 측정 장치 (옵션) 도 있습니다. EX4의 처리량 컨트롤러는 N 컨트롤러입니다. 이 장치는 가압 (pressurization) 및 흐름 제어 (flow control) 설정을 조정하여 모델의 처리량에 영향을 미칩니다. 컨트롤러에는 원하는 노출 시간을 달성하기 위해 조정할 수 있는 타이머 (timer) 설정이 있습니다. 전반적으로 CANON EX4 Wafer Stepper는 고도의 기술 정교함을 가진 고급 웨이퍼 리소그래피 장비입니다. 견고하고 안정적인 성능을 제공하며, 다양한 wafer 레벨 패키징 및 photolithography 애플리케이션을 위한 최상의 선택입니다.