판매용 중고 CYMER ELS 4000D #9245277

제조사
CYMER
모델
ELS 4000D
ID: 9245277
빈티지: 1993
Laser KrF Excimer DUV Laser: 248 nm Maximum power: 50 W Maximum pulse energy: 0.5 J Duration: 10-50 ns 1993 vintage.
CYMER ELS 4000D는 고품질의 정밀한 마이크로 머시닝 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 엑시머 레이저 장비입니다. 이 고급 시스템은 최고의 정확성과 반복 성을 갖춘 회로, MEMS 및 기타 마이크로 스케일 구조를 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 신뢰할 수있는 형광 램프 기반 전원 공급 장치를 갖춘 고속 저전압 레이싱 헤드 (Lasing Head) 설계를 기반으로합니다. 이 레이저는 펄스 (pulsed) 3 창 아키텍처를 사용하여 원하는 작동 프로파일을 제어하고 잠그면 안정적이고 안정적인 작동이 가능합니다. 넓은 "펄스 '폭, 주파수 및" 에너지' 수준 으로, 이 기계 는 복잡 한 구조 와 표면 을 정밀 하게 가공 할 수 있다. ELS 4000D에는 고급 디지털 컨트롤러 (Advanced Digital Controller) 가 장착되어 있어 프로세스의 요구 사항에 맞는 정확한 레이저 출력 에너지를 제공합니다. 내장형 안전 기능을 통해 레이저 출력 매개변수를 지속적으로 모니터링할 수 있으며, 이 도구는 최적의 빔 포인팅 안정성 (beam pointing stability) 과 빔 균일성 (beam unifority) 을 위해 설계되었습니다. 이 에셋은 또한 터치 스크린 민감도 (touch screen sensitivity) 를 통해 모델 설정을 조정하고 다양한 설정을 실험할 수 있습니다. CYMER ELS 4000D는 우수한 플라즈마 제어를 제공하며, 식각 기능의 뛰어난 성능을 보장합니다. "레이저 '광학 장비 는 폭 넓은" 레이저' 형상 과 "펄스 '" 파라미터' 에 대하여 최상 의 광출력 을 제공 하도록 설계 되었다. "레이저 '머리, 조준기," 커우플러' 를 포함 한 "시스템 '의 구성 요소 들 이 결합 되어 광학 장치 의 성능 을 높이고" 레이저' 빔 스티어링 '의 오류 를 제거 한다. ELS 4000D는 생산성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 빠른 학습 곡선 (quick learning curve) 으로 작동하기 쉬우므로 모든 수준의 사용자에게 이상적입니다. 이 기계는 기존 운영 회선과 통합될 수 있으며, 필요에 따라 쉽게 확장할 수 있어 재료 처리 (material processing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 유지보수 (Maintenance) 는 모듈식 디자인과 공구에 사용되는 고품질 (High-Quality) 구성요소로, 자산의 수명을 위한 최적의 성능을 보장합니다.
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