판매용 중고 VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214
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판매
ID: 9124214
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1997
Ion beam etcher, 6"-8"
Process modules transport module systems include:
BROOKS Automation robot wafer handler system
Loadlock A & B
Electronics cabinet contains:
(2) APC 450 UPS
Raritan compu-switch
Industrial PC
(2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers
LEYBOLD NT20 Turbovac controller
(2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies
SORENSEN DCS20-150 Power supply
SPELLMAN SL300 Power supply
SPELLMAN SL1200 Power supply
Process modules include:
LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller
CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module
CTI 9600 Compresser
RFPP AM-10/20 Auto matching network
ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply
CTI Onboard controller RF matching network monitor
ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator
Main power distribution panel: 208V,100A
1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBE는 고급 재료의 표면 준비 및 특성을 위해 설계된 이온 밀링 장비입니다. 도량형 (metrology), 고장 분석 (failure analysis), 박막의 평면화 (planarization) 및 기타 여러 응용 분야에 사용됩니다. 이 "시스템 '은 활력 이온 의 집중 광선 을 이용 하여 물질 의 표면 을 밀어낸다. 최대 350mm 의 페이로드 (Payload) 를 수용 할 수 있으므로 다양한 크기와 모양의 샘플을 밀링 할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 제어 머신 (automated control machine) 이 있으며, 이를 통해 사용자는 밀링 프로세스에 필요한 매개변수를 정의할 수 있습니다. 컴퓨터 제어 인터페이스를 사용하면 2 개의 운동 평면에서 이온 빔을 쉽게 조작 할 수 있습니다. 또한 샘플 서피스에서 복합 밀링 피쳐를 생성할 수 있습니다. 공구에는 밀링 서피스의 이미지/비디오를 얻기 위한 고해상도 디지털 이미지/비디오 (digital image/video) 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 상하 (Interlock) 장비와 같은 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 있습니다. 비상 정지 버튼도 포함되어 있습니다. 이 장치는 환경 안전 및 에너지 효율성에 대한 업계 표준을 준수하고 있습니다. "가스 '배달 기계 는" 가스' 의 흐름 과 입자 생산 을 정확 히 조절 하고 낭비 를 최소화 하도록 설계 되었다. 또한, 이 도구는 고급 수냉식 (water cooling) 자산을 활용하여 전력 소비를 최소화하고 소음 수준을 줄입니다. 이 모델은 또한 완전 자동화 된 플라즈마 청소 장비를 통합합니다. 이렇게 하면 밀링 전에 서피스 오염을 제거할 수 있습니다. 그것 은 또한 "실내벽 '을 화학적 으로 청소 하여" 샘플링' 의 표면 의 질 을 보장 할 수 있다. 전반적으로, VEECO RF350 C2 IBE는 효율적이고 정확한 표면 준비 및 특성 시스템을 제공하며, 최대한의 안전성을 제공하고, 환경을 보호하도록 설계되었습니다. 이 장치는 도량형, 고장 분석, 박막 평면 화에서 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.
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