판매용 중고 VARIAN 350DE #9055664

VARIAN 350DE는 고성능 반도체 처리 솔루션의 리더 인 VARIAN Semiconductor Equipment Inc.의 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 하이엔드 이온 임플란터는 대용량 반도체 제조 및 처리 어플리케이션을 위해 정밀 작동, 뛰어난 성능, 신뢰성을 제공합니다. 350DE는 안정적이고 반복 가능한 도핑 농도 설정과 더 많은 프로세스 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 높은 전류 및 고속 기능으로 높은 생산성과 최대 도펀트 (dopant) 처리량을 제공합니다. 아트빔 모니터 (Art Beam Monitor) 의 상태를 통해 일정한 빔 강도와 균일 한 용량 조절을 보장합니다. 빔 안정성 문제에 대해 수정 할 수있는 빔 수정 기능이 있습니다. 그것 은 각기 다른 "웨이퍼 '기판 을 매우 정확 하게 처리 할 수 있는 견고 한" 이온' 광선 으로 설계 되었다. VARIAN 350DE에는 특정 포켓에 웨이퍼를 자동으로 로드, 언로드, 저장하고, 동시에 여러 웨이퍼를 도입 할 수있는 스마트 급식 제어 시스템이 있습니다. 임플란테이션 전 웨이퍼에서 원치 않는 입자를 제거하는 24 구역 웨이퍼 클리닝 기능이 있습니다. 에너지 안정제는 우수한 용량 제어를 위해 안정적인 임플란트 에너지를 보장합니다. 350DE는 최대한의 정확성과 최적 용량을 위해 고급 제어 아키텍처 (advanced control architecture) 와 이온 빔의 3 차원 뷰를 갖추고 있습니다. 통합 제어 시스템을 사용하면 임플랜테이션 매개 변수에 신속하게 액세스하고 조작할 수 있습니다. 또한 강력한 데이터 로깅 시스템 (data logging system) 을 통해 다양한 임플란트 및 작업의 데이터를 저장할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 350DE 이온 임플란터 및 모니터는 중량 및 대용량 반도체 처리 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 높은 수율을 보장하기 위해 안정적인 운영, 반복 가능한 이식 프로세스, 고급 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 또한 탁월한 데이터 수집/관리 기능을 통해 사용자의 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다.