판매용 중고 THERMA-WAVE DT-360 #9126377

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ID: 9126377
Probe 500I.
THERMA-WAVE DT-360은 고급 이온 임플란터이며, 이온 이식 프로세스의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 모니터입니다. 주로 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 산업에서 사용됩니다. DT-360은 매우 효율적이고 정확하며 비용 효율적인 이온 이식 솔루션을 제공합니다. THERMA-WAVE DT-360은 이온 이식 프로세스의 까다로운 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 제품은 고에너지에서 저에너지 빔 (low-energy beam) 에 이르기까지 빔 주입에 대해 최대 8 가지 옵션을 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 DT-360은 광범위한 이식 깊이를 달성 할 수 있습니다. 또한 조절 가능한 빔 크기를 제공하여 다양한 도핑 (doping) 이나 영역을 생성할 수 있습니다. THERMA-WAVE DT-360에는 이온 모니터 (Ion Monitor) 장비가 포함되어 있어 임플란트 매개변수를 정확하게 측정 및 제어할 수 있습니다. 사용자는 빔 크기, 전류, 전압, 챔버 가스, 온도, 임플란트 시간 및 빔 충전 수준을 모니터링할 수 있습니다. 따라서 보다 일관된 결과와 임플란트 프로파일을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 DT-360 은 고속 처리 속도를 제공하여 보다 빠르고 효율적으로 임플랜테이션을 수행할 수 있습니다. 따라서 THERMA-WAVE DT-360 은 높은 수준의 정밀도를 필요로 하는 프로세스와 높은 처리 속도에 이상적인 선택입니다. 또한 DT-360에는 데이터 로깅 시스템이 내장되어 있으며, 최대 500개의 런을 기록할 수 있습니다. 이 데이터 로깅 장치는 수행되는 모든 implantation 에 대한 포괄적인 기록을 제공합니다. 데이터를 분석하여 이온 임플란터 (ion implanter) 의 성능에 대한 통찰력을 제공하고, 어느 프로세스가 가장 효율적인지 확인할 수 있습니다. THERMA-WAVE DT-360에도 안전 기능이 장착되어 있습니다. 방에서 원치 않는 입자를 제거하는 가스 스크러버 (scrubber) 가 내장되어 있습니다. 또한 긴급 전원 끄기 (Emergency Power Off) 스위치가 있으며, 이 스위치는 긴급 상황의 경우 전체 시스템을 즉시 차단합니다. 전반적으로, DT-360은 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 (ion implantation) 및 모니터로, 이온 이식 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 조절 가능한 빔 크기, 내장 모니터 도구, 고속 (high throughput speed), 안전 (safety) 기능을 통해 까다롭고 정확한 프로세스에 적합합니다.
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